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トランスファーロッド（Z-φ軸）　KTS-100・200・300

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仕様

			KTS-100	KTS-200	KTS-300
仕様	A寸法		231 (mm)	331 (mm)	431 (mm)
	B寸法(ストローク)		100 (mm)	200 (mm)	300 (mm)
	C寸法(出先寸法)		50〜150 (mm)	50〜250 (mm)	50〜350 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	直進力		3 (kgf)
	回転トルク		2 (kgf/cm)
	回転角目盛		30 (°)
	駆動軸径		φ6 (mm)
	接続フランジサイズ		ICF-34 FH
	駆動方式		マグネット方式
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特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
• 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
• 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
• オプションとして回転止め機構：RS(別売）や延長ハンドル：EH(別売)を取付ける事が出来ます。
• 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
• 長い距離での試料等の搬送を行う際に最適です。

トランスファーロッド（Z-φ軸）　KTM-200・300

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仕様

		KTM-200	KTM-300
仕様	A寸法	320 (mm)	420 (mm)
	B寸法(ストローク)	200 (mm)	300 (mm)
	C寸法(出先寸法)	100〜300 (mm)	100〜400 (mm)
	重量	- (kg)	- (kg)
	許容リーク量	≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度	≦ 200 (℃)
	直進力	3 (kgf)
	回転トルク	2 (kgf/cm)
	回転角目盛	30 (°)
	駆動軸径	φ6 (mm)
	接続フランジサイズ	ICF-70 FH
	駆動方式	マグネット方式
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特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
• 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
• 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
• オプションとして回転止め機構：RS(別売）や延長ハンドル：EH(別売)を取付ける事が出来ます。
• 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
• 長い距離での試料等の搬送を行う際に最適です。

トランスファーロッド（Z-φ軸）　KTL-500・750・1000

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仕様

			KTL-500	KTL-750	KTL-1000
仕様	A寸法		665 (mm)	915 (mm)	1165 (mm)
	B寸法(ストローク)		500 (mm)	750 (mm)	1000 (mm)
	C寸法(出先寸法)		100〜600 (mm)	100〜850 (mm)	100〜1100 (mm)
	重量		- (kg)	3.4 (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	直進力		6 (kgf)
	回転トルク		9 (kgf/cm)
	回転角目盛		10 (°)
	駆動軸径		φ10 (mm)
	接続フランジサイズ		ICF-70 (FH)
	駆動方式		マグネット方式
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特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
• 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
• 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
• オプションとして回転止め機構：RS(別売）や延長ハンドル：EH(別売)を取付ける事が出来ます。
• 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
• 長い距離での試料等の搬送を行う際に最適です。

トランスファーロッド（Z-φ軸）　KTX-500・750・1000

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仕様

			KTX-500	KTX-750	KTX-1000
仕様	A寸法		706 (mm)	956 (mm)	1206 (mm)
	B寸法(ストローク)		500 (mm)	750 (mm)	1000 (mm)
	C寸法(出先寸法)		200〜700 (mm)	200〜950 (mm)	200〜1200 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	直進力		6 (kgf)
	回転トルク		9 (kgf/cm)
	回転角目盛		10 (°)
	駆動軸径		φ16 (mm) (パイプシャフト)
	接続フランジサイズ		ICF-114 FH
	駆動方式		マグネット方式
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特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
• 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
• 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
• オプションとして回転止め機構：RS(別売）や延長ハンドル：EH(別売)を取付ける事が出来ます。
• 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
• 長い距離での試料等の搬送を行う際に最適です。

2軸型トランスファーロッド（Z-φ軸）　KTS-100W・200W・300W

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仕様

			KTS-100W	KTS-200W	KTS-300W
仕様	A寸法		332 (mm)	432 (mm)	532 (mm)
	B寸法(ストローク)		100mm	200mm	300mm
	C寸法(外軸出先寸法)		50〜150 (mm)	50〜250 (mm)	50〜350 (mm)
	D寸法(内軸出先寸法)		30±15 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	直進力		3 (kgf)
	回転トルク		2 (kgf/cm)
	回転角目盛		30 (°)
	駆動軸径	外軸	φ6 (mm)
		内軸	φ3 (mm) (先端部M3ネジ)
	接続フランジサイズ		ICF-34 FH
	駆動方式		マグネット方式
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特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する2軸の導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
• 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
• 各々の駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
• メインロッド(パイプシャフト)内に内部ロッドが組み込まれており、内部ロッドはメインロッドと動作を共有にする他に、単独でも直進運動を行うことが出来ます。
• メインロッド及び内部ロッドは同軸上でそれぞれが独立して回転します。
• 内部ロッド先端部はネジ加工が施してあり、アタッチメント等の取付けが容易に出来ます。
• 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
• 長い距離でのアタッチメントを使用しての試料等の搬送を行う際に最適です。

2軸型トランスファーロッド（Z-φ軸）　KTM-200W・300W

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仕様

			KTM-200W	KTM-300W
仕様	A寸法		421 (mm)	521 (mm)
	B寸法(ストローク)		200 (mm)	300 (mm)
	C寸法(外軸出先寸法)		100〜300 (mm)	100〜400 (mm)
	D寸法(内軸出先寸法)		30±15 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	直進力		3 (kgf)
	回転トルク		2 (kgf/cm)
	回転角目盛		30 (°)
	駆動軸径	外軸	φ6 (mm)
		内軸	φ3 (mm) (先端部M3ネジ)
	接続フランジサイズ		ICF-70 FH
	駆動方式		マグネット方式
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特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する2軸の導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
• 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
• 各々の駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
• メインロッド(パイプシャフト)内に内部ロッドが組み込まれており、内部ロッドはメインロッドと動作を共有にする他に、単独でも直進運動を行うことが出来ます。
• メインロッド及び内部ロッドは同軸上でそれぞれが独立して回転します。
• 内部ロッド先端部はネジ加工が施してあり、アタッチメント等の取付けが容易に出来ます。
• 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
• 長い距離でのアタッチメントを使用しての試料等の搬送を行う際に最適です。

2軸型トランスファーロッド（Z-φ軸）　KTL-500W・750W

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仕様

			KTL-500W	KTL-750W
仕様	A寸法		785 (mm)	1035 (mm)
	B寸法(ストローク)		500 (mm)	750 (mm)
	C寸法(外軸出先寸法)		100〜600 (mm)	100〜850 (mm)
	D寸法(内軸出先寸法)		10〜25 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	直進力		6 (kgf)
	回転トルク		9 (kgf/cm)
	回転角目盛		10 (°)
	駆動軸径	外軸	φ10 (mm)
		内軸	φ3 (mm) (先端部M3ネジ)
	接続フランジサイズ		ICF-70 FH
	駆動方式		マグネット方式
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特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する2軸の導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
• 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
• 各々の駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
• メインロッド(パイプシャフト)内に内部ロッドが組み込まれており、内部ロッドはメインロッドと動作を共有にする他に、単独でも直進運動を行うことが出来ます。
• メインロッド及び内部ロッドは同軸上でそれぞれが独立して回転します。
• 内部ロッド先端部はネジ加工が施してあり、アタッチメント等の取付けが容易に出来ます。
• 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
• 長い距離でのアタッチメントを使用しての試料等の搬送を行う際に最適です。

2軸型トランスファーロッド（Z-φ軸）　KTX-500W・750W

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仕様

			KTX-500W	KTX-750W
仕様	A寸法		830.5 (mm)	1080.5 (mm)
	B寸法(ストローク)		500 (mm)	750 (mm)
	C寸法(外軸出先寸法)		200〜700 (mm)	200〜950 (mm)
	D寸法(内軸出先寸法)		10〜25 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	直進力		6 (kgf)
	回転トルク		9 (kgf/cm)
	回転角目盛		10 (°)
	駆動軸径	外軸	φ16 (mm) (パイプシャフト)
		内軸	φ3 (mm) (先端部M3ネジ)
	接続フランジサイズ		ICF-114 FH
	駆動方式		マグネット方式
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特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する2軸の導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
• 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
• 各々の駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
• メインロッド(パイプシャフト)内に内部ロッドが組み込まれており、内部ロッドはメインロッドと動作を共有にする他に、単独でも直進運動を行うことが出来ます。
• メインロッド及び内部ロッドは同軸上でそれぞれが独立して回転します。
• 内部ロッド先端部はネジ加工が施してあり、アタッチメント等の取付けが容易に出来ます。
• 腐食性ガス対応の仕様もございます。ご相談ください。
• 長い距離でのアタッチメントを使用しての試料等の搬送を行う際に最適です。

オプション　モーター駆動・回転止め(RS)・プロテクター(PT)・延長ハンドル(EH)

モーター駆動

仕様

回転止め(RS)

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図面拡大（KTM-RS）

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プロテクター(PT)

延長ハンドル(EH)

データ　残留ガス分析及びガス放出速度（ベーキング無）

測定条件

• テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、真空排気をしました。
• トランスファーロッドを連続的に稼動させ、データを取得します。
• 本測定におけるガス放出速度は、6.5×10^-8Pam³s^-1m^-2となりました。
• 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500（標準品）となります。

KTL-500稼動時における残留ガス分析結果

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データ　残留ガス分析及びガス放出速度（プレベーキング）

測定条件

• テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、200℃にて約10日間ベーキング（トランスファーロッドのみ）を実施しました。
• ベーキング終了後、チャンバーを大気開放し、トランスファーロッドを一時取り外します。
• 取り外した後、1時間経過の後にトランスファーロッドをチャンバーに再び設置し、真空排気を行ないます。
• トランスファーロッドを連続的に稼動させ、データを取得します。
• 本測定におけるガス放出速度は、1.2×10^-7Pam³s^-1m^-2となりました。
• 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500（標準品）となります。

KTL-500稼動時における残留ガス分析結果

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データ　残留ガス分析及びガス放出速度（ベーキング有）

測定条件

• テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、200℃にて約10日間のベーキング（トランスファーロッドのみ）を実施しました。
• ベーキング終了後、トランスファーロッドを上下に連続的に稼動させ、稼動前と稼動中にてデータを取得します。
• 本測定におけるガス放出速度は、3.9×10^-8Pam³s^-1m^-2となりました。
• 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500（標準品）となります。

KTL-500稼動時における残留ガス分析結果

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[UHV Design社製]
トランスファーロッド　PP35-(304-H〜1219-H)

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仕様

		PP35-304-H	PP35-457-H	PP35-609-H
仕様	ストローク	304mm	457mm	609mm
	許容リーク量	≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度	≦ 250(℃)
	直進力	180N
	回転トルク	4Nm
	回転角目盛	無し
	駆動軸径	Φ16mm （先端M8タップ）
	接続フランジサイズ	ICF70
	駆動方式	マグネットカップリング
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		PP35-914-H	PP35-1219-H
仕様	ストローク	914mm	1219mm
	許容リーク量	≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度	≦ 250(℃)
	直進力	180N
	回転トルク	4Nm
	回転角目盛	無し
	駆動軸径	Φ16mm （先端M8タップ）
	接続フランジサイズ	ICF70
	駆動方式	マグネットカップリング
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特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• マグネットを付けた状態で250℃のベーキングが可能です。
• 強固なデザインによりがたつきが無く直進安定性及び位置再現性に優れています。
• 10Nの荷重を取り付けて600mm伸ばした状態でのシャフトの垂れ量は1mm以下です。
• 高回転トルク、高直進力により、垂直方向の取付にも対応します。
• オプションでモーター駆動も可能です。
• 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。

[UHV Design社製]
ミニトランスファーロッド　MPPRL-(100-H〜300-H)

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仕様

		MPPRL-100-H	MPPRL-200-H	MPPRL-300-H
仕様	ストローク	100mm	200mm	300mm
	許容リーク量	≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度	≦ 250(℃)
	直進力	90N
	回転トルク	0.4Nm
	回転角目盛	無し
	駆動軸径	Φ8mm （先端M3タップx2）
	接続フランジサイズ	ICF34
	駆動方式	マグネットカップリング
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見積もり

特徴

• 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。
• マグネット方式の為、外部との真空封じは完全で、半永久的に安定した動作を得られます。
• 真空中に取り付けられた直線運動及び、回転運動を要する機器へ応用出来ます。
• 駆動部のストッパーを使用する事で、任意の距離・角度での位置決めが出来ます。
• マグネットを付けた状態で250℃のベーキングが可能です。
• 小型ながら高性能な搬送を可能にしました。

ミニXステージ　KX-34・34/70

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仕様

			KX-34	KX-34/70
仕様	A寸法(X軸移動量)		157.5 ±5 (mm)
	B寸法		80 (mm)
	C寸法		51 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	有効内径		φ17 (mm)
	移動精度		0.01 (mm)
	位置決め目盛		0.01 (mm)
	接続フランジサイズ	上部	ICF-34 FT	ICF-34 FT
		下部		ICF-70 FT
	駆動方式		ベローズ方式 (SUS316)
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特徴

• 中空構造の1軸(X軸）のステージとなります。
• 超高真空領域まで使用出来ます。
• 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は0.5mmです。
• ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
• 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
• 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所での1軸方向への微調整等に最適です。
• 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

Xステージ　KX-70・70/114

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仕様

			KX-70	KX-70/114
仕様	A寸法(X軸移動量)		244 ±12.5 (mm)
	B寸法		130 (mm)
	C寸法		80 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	有効内径		φ36 (mm)
	移動精度		0.01 (mm)
	位置決め目盛		0.01 (mm)
	接続フランジサイズ	上部	ICF-70 FT	ICF-70 FT
		下部		ICF-114 FT
	チルト動作範囲		全方位 2 (°)
	駆動方式		ベローズ方式 (SUS316)
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見積もり

特徴

• 中空構造の1軸(X軸）のステージとなります。
• 超高真空領域まで使用出来ます。
• 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は0.5mmです。
• ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
• 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
• 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所での1軸方向への微調整等に最適です。
• 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

データ　KX移動量計算式資料

Xステージにおける、ベローズ有効内径、導入物外径、X方向移動量について

Xステージでは、取り付けた際の本体の内径と、使用されている導入物の外径によって、X方向への最大移動量が変化します。
以下の式に、本体の有効内径と、使用、又は導入を予定されている機器の外径寸法を当てはめることで、X方向への最大移動量を算出できます。
但し、X方向への最大移動量は≦12.5mmとなります。

d：有効内径　D：予定導入物外径　X：X方向最大移動量
※有効内径は別記の表をご参考ください。

例：有効内径：dがφ36mmで、導入物の外径：Dがφ10mmであったとき
Ｘ方向への移動：Aは・・・
Ｘ=(d−D)/2　より
Ｘ=(36−10)/2　となり
=26/2=13　となりますが、
X方向への最大移動量が、≦12.5mmである為、
Ｘ方向への移動量は 『±12.5mm』 となります。

＜KXステージ移動量計算用図面＞

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KXシリーズ ベローズ有効内径表

※ 表の有効内径は通常の銅ガスケットを用いた場合の数値となります。
※ 有効内径は使用されるガスケットの種類によって異なります。

ミニX/Yステージ　KXY-34・34/70

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仕様

			KXY-34	KXY-34/70
仕様	A寸法(X軸移動量)		157.5 ±5 (mm)
	B寸法(Y軸移動量)		157.5 ±5 (mm)
	C寸法		51(mm)
	重量		- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	有効内径		φ17 (mm)
	移動精度	X軸方向	0.01 (mm)
		Y軸方向
	位置決め目盛	X軸	0.01 (mm)
		Y軸
	接続フランジサイズ	上部	ICF-34 FT	ICF-34 FT
		下部		ICF-70 FT
	駆動方式		ベローズ方式 (SUS316)
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見積もり

特徴

• 中空構造の2軸(X軸・Y軸）のステージとなります。
• 超高真空領域まで使用出来ます。
• 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は各々0.5mmです。
• ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
• 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
• 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所でのX軸及び、Y軸方向への微調整等に最適です。
• 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

X/Yステージ　KXY-70・70/114

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仕様

			KXY-70	KXY-70/114
仕様	A寸法(X軸移動量)		244 ±12.5 (mm)
	B寸法(Y軸移動量)		244 ±12.5 (mm)
	C寸法		80 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	有効内径		φ36 (mm)
	移動精度	X軸方向	0.01 (mm)
		Y軸方向
	位置決め目盛	X軸	0.01 (mm)
		Y軸
	接続フランジサイズ	上部	ICF-70 FT	ICF-70 FT
		下部		ICF-114 FT
	チルト動作範囲		全方位 2 (°)
	駆動方式		ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面 （DXFファイル EXE形式） ダウンロードヘルプ
見積もり

特徴

• 中空構造の2軸(X軸・Y軸）のステージとなります。
• 超高真空領域まで使用出来ます。
• 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は各々0.5mmです。
• ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
• 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
• 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所でのX軸及び、Y軸方向への微調整等に最適です。
• 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

X/Yステージ　KXY-114

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仕様

			KXY-114
仕様	A寸法(X軸移動量)		330 ±12.5 (mm)
	B寸法(Y軸移動量)		330 ±12.5 (mm)
	C寸法		144 (mm)
	重量		8.2 (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	有効内径		φ70 (mm)
	移動精度	X軸方向	0.02 (mm)
		Y軸方向
	位置決め目盛	X軸	0.02 (mm)
		Y軸
	接続フランジサイズ	上部	ICF-114 FT
		下部
	チルト動作範囲		なし
	駆動方式		ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面 （DXFファイル EXE形式） ダウンロードヘルプ
見積もり

特徴

• 中空構造の2軸(X軸・Y軸）のステージとなります。
• 超高真空領域まで使用出来ます。
• 駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は各々0.5mmです。
• ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています。
• 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
• 駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所でのX軸及び、Y軸方向への微調整等に最適です。
• 他の直線・回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます。

データ　KXY移動量計算式資料

XYステージにおけるベローズ有効内径、導入物外径、X方向最大移動量、Y方向最大移動量の計算

X・Yステージでは、取り付けた際の本体の内径と使用される導入機器の外径によってX・Y方向への移動量が変化します。
以下の式に、本体の有効内径と使用、又は導入を予定されている機器の外径寸法を当てはめることで、X方向への移動量を算出できます。
但し、X(Y)方向移動量が0mmの時、Y(X)の限界移動量は≦12.5mmとなります。

はじめに・・・

・・・とします。　※有効内径は別記の表をご参考ください。

1. D, dが既知であり、X・Y方向移動量が同じであった時の双方の最大移動量は

例1：有効内径：dがφ36mmあり、導入物外径：Dがφ10mmである時
X・Y両方向を同時に移動した場合の最大移動量：X・Yは・・・
X＝Y＝((d-D)/2)/√2　より
X＝Y＝((36-10)/2)/√2　となり
X＝Y＝9.19≒9.2　となります。

よって、この場合のＸ・Ｙ方向最大移動量は ±9.2mm になります。

＜XYステージ移動量計算用図面＞

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2. D, dが既知で、X≠Y且つ、Y方向移動量が既知である時のX方向最大移動量は

※ X方向移動量が既知の時は式中のX・Yを入れ替えてください。

例2. 有効内径：dがφ36mmあり、導入物外径：Dがφ10mmの時、Y方向移動量：Yを±6.5mmとした時の、X方向の最大移動量：Xは
X＝√((d-D)/2)²-Y²　より
X＝√((36-10)/2)²-6.5²　となり
X＝√126.75=11.25≒11.3　となります。

よって、この時のX方向への最大移動量は ±11.3mm になります。

＜XYステージ移動量計算用図面＞

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KXYシリーズ 有効内径表

※ 表の有効内径は通常の銅ガスケットを用いた場合の数値となります。
※ 有効内径は使用されるガスケットの種類によって異なります。

ICF-70タイプ（X-Y-Z軸）(50z)　KSM-70

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仕様

			KSM-70
仕様	A寸法		195 (mm)
	B寸法		90 (mm)
	C寸法(X軸移動量)		163±6 (mm)
	D寸法(Y軸移動量)		209±6 (mm)
	E寸法(Z軸移動量)		126〜176 (mm)
	重量		- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	有効内径		φ17 (mm)
	移動精度	X軸方向	0.01 (mm)
		Y軸方向
		Z軸方向	0.05 (mm)
	位置決め目盛	X軸	0.01 (mm)
		Y軸
		Z軸	0.05 (mm)
	接続フランジサイズ	上部	ICF-34 FT
		下部	ICF-70 FH
	導入用ポート		なし
	駆動方式		ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面 （DXFファイル EXE形式） ダウンロードヘルプ
見積もり

特徴

• ユーザー様の様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体としています。
• 超高真空領域まで使用出来ます。
• X，Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりの移動量は各々0.5mmとなります。
• Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
• ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせています。
• 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
• 接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。
• 各種オプション(別売)を利用する事で、X，Y．Z軸方向への移動だけでなく、回転機構，面内回転機構，加熱機構，冷却機構等を使用する事が出来ます。
• 蒸着装置，MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行えます。

ICF-114タイプ（X-Y-Z軸）(50z・150z)　KSM-114

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仕様

			KSM-114(50Z)	KSM-114(150Z)
仕様	A寸法		289.2 (mm)	389.2 (mm)
	B寸法		130 (mm)
	C寸法(X軸移動量)		244±12.5 (mm)
	D寸法(Y軸移動量)		306±12.5 (mm)
	E寸法(Z軸移動量)		222〜272 (mm)	222〜372 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	有効内径		φ40 (mm)
	移動精度	X軸方向	0.01 (mm)
		Y軸方向	0.01 (mm)
		Z軸方向	0.05 (mm)
	位置決め目盛	X軸	0.01 (mm)
		Y軸	0.01 (mm)
		Z軸	0.05 (mm)
	接続フランジサイズ	上部	ICF-70 FT
		下部	ICF-114 FH
	導入用ポート		なし
	チルト動作範囲(上部フランジ)		全方位 2 (°)
	駆動方式		ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面 （DXFファイル EXE形式） ダウンロードヘルプ
見積もり

特徴

• ユーザー様の様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体としています。
• 超高真空領域まで使用出来ます。
• X，Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりの移動量は各々0.5mmとなります。
• Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
• ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせています。
• 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
• 接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。
• 各種オプション(別売)を利用する事で、X，Y．Z軸方向への移動だけでなく、回転機構，面内回転機構，加熱機構，冷却機構等を使用する事が出来ます。
• 蒸着装置，MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行えます。

ICF-152タイプ（X-Y-Z軸）(50z・150z)　KSM-152

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仕様

			KSM-152(50Z)	KSM-152(150Z)
仕様	A寸法		289.2 (mm)	389.2 (mm)
	B寸法		130 (mm)
	C寸法(X軸移動量)		179±12.5 (mm)
	D寸法(Y軸移動量)		244±12.5 (mm)
	E寸法(Z軸移動量)		222〜272 (mm)	222〜372 (mm)
	重量		- (kg)	- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	有効内径		φ40 (mm)
	移動精度	X軸方向	0.01 (mm)
		Y軸方向	0.01 (mm)
		Z軸方向	0.05 (mm)
	位置決め目盛	X軸	0.01 (mm)
		Y軸	0.01 (mm)
		Z軸	0.05 (mm)
	接続フランジサイズ	上部	ICF-70 FT
		下部	ICF-152 FH
	導入用ポート		ICF-34 FT × 6
	チルト動作範囲(上部フランジ)		全方位 2 (°)
	駆動方式		ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面 （DXFファイル EXE形式） ダウンロードヘルプ
見積もり

特徴

• ユーザー様の様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体としています。
• 超高真空領域まで使用出来ます。
• X，Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりの移動量は各々0.5mmとなります。
• Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
• ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせています。
• 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます。
• 接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。
• 各種オプション(別売)を利用する事で、X，Y．Z軸方向への移動だけでなく、回転機構，面内回転機構，加熱機構，冷却機構等を使用する事が出来ます。
• 蒸着装置，MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行えます。

データ　KXY移動量計算式資料

セミ・マニピュレーターのXYステージにおけるベローズ有効内径、導入物外径、Ｘ方向およびＹ方向の最大移動量の計算

セミ・マニピュレータの機能の一つであるX・Yステージは、取り付けた際の本体の内径と、使用されている導入機器の外径によりX・Y方向への最大移動量が変化します。
以下に示すの計算式に、本体の有効内径と使用、又は導入を予定されている機器の外径寸法を当てることでX、又はY方向への移動量を算出できます。
但し、X(Y)方向移動量が0mmの時、Y(X)の限界移動量は≦12.5mmとなります。

はじめに・・・

・・・とします。　※有効内径は別記の表をご参考ください。

1. D, dが既知であり、X・Y方向移動量が同じであった時の双方の最大移動量は

例1：有効内径：dがφ36mmあり、導入物外径：Dがφ10mmである時
X・Y両方向を同時に移動した場合の最大移動量：X・Yは・・・
X＝Y＝((d-D)/2)/√2　より
X＝Y＝((36-10)/2)/√2　となり
X＝Y＝9.19≒9.2　となります。

よって、この場合のＸ・Ｙ方向最大移動量は ±9.2mm になります。

＜XYステージ移動量計算用図面＞

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2. D, dが既知で、X≠Yで、且つY方向移動量が既知である時のX方向最大移動量は

※ X方向移動量が既知の時は式中のX・Yを入れ替えてください。

例2. 有効内径：dがφ36mmあり、導入物外径：Dがφ10mmの時、Y方向移動量：Yを±6.5mmとした時の、X方向の最大移動量：Xは
X＝√((d-D)/2)²-Y²　より
X＝√((36-10)/2)²-6.5²　となり
X＝√126.75=11.25≒11.3　となります。

よって、この時のX方向への最大移動量は ±11.3mm になります。

＜XYステージ移動量計算用図面＞

図面拡大

KXYシリーズ 有効内径表

※ 表の有効内径は通常の銅ガスケットを用いた場合の数値となります。
※ 有効内径は使用されるガスケットの種類によって異なります。

チルト機構（ω軸）　KTJ-34

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仕様

			KTJ-34
仕様	重量		- (kg)
	許容リーク量		≦1.33×10-11（Pa・m3/sec）
	許容加熱温度		≦ 200 (℃)
	有効傾斜角度		全方位 10 (°)
	有効内径		φ17 (mm)
	接続フランジサイズ	上部	ICF-34 FT
		下部	ICF-70 FH
	駆動方式		ベローズ方式 (SUS316)
CAD図面 （DXFファイル EXE形式） ダウンロードヘルプ
見積もり

特徴

• 360°方向で稼動する中空構造のチルト機構となります。
• 超高真空領域まで使用出来ます。
• 接続フランジはチャンバー側にICF-70FH、フィールドスルー側にICF-34FTを設けています。
• ネジ式のストッパーを用いている為、任意の角度での設定及び角度の維持が出来ます。
• 他の導入機等を組み合わせる事で、チャンバー内での動作範囲を広げる事が出来ます。
• フィールドスルー等での角度付けや試料等の斜め方向への導入・搬送を行う際に効果的です。