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事例4 有機EL成膜装置改造
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改善事例集
分析装置
3次元アトムプローブ装置改善事例
3次元アトムプローブ装置(3D-AP)において、Tip表面からの電界蒸発を、従来の高圧印加ではなく、レーザー照射により行う事となった。その為、Tip先端にレーザーを局所的に照射する必要がある・・・
改善成功事例
事例1 有機蒸着セル KOD-Cell
これまで、他社製の大型有機蒸着セルを使用していた。しかしながら、大型ならではのルツボ容量が大きいと言うこともあり、温度安定性と材料効率が非常に悪く悩んでいた・・・
事例2 金属蒸着セル KMDW-Cell
従来使用している金属蒸着方法は、ボート式であり、金属膜を蒸着する際に、100A以上もの大電流を印加している。ボート式は、初心者でも容易に蒸着可能であるが、大電流を使用することで、膜質に悪影響をもたらす要因と考えられる・・・
事例3 有機材料開発用蒸着装置 KVD-OLED Evo.Cluster
これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、問題が多々発生している。搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが早い・蒸着レートコントロールが困難など・・・
事例4 有機EL成膜装置改造
これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう・・・
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