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真空ベーキング処理効果の検証
- 実験使用チャンバー（ICF-152クロス管）
機械加工→溶接加工→バフ研磨→電解研磨処理を経て製作した、2台の実験用チャンバーA・Bを使用しました。 - ベーキング処理法
Aチャンバーは、リボンヒーターによる通常ベーキング（約200℃）を36時間行いました。
Bチャンバーは、真空ベーキング炉に入れて約3時間で450℃（炉内温度）まで昇温させた後、24時間の冷却時間を経てから取り出し、その後Aチャンバーと同様のベーキングを行いました。 - 排気系
排気に関しては、以下に挙げる機器を使用しました。- ターボ分子ポンプ …………… 50L/s、300L/s
- ロータリーポンプ …………… 167L/min
- イオンポンプ ………………… 110L/s
- 実験方法
テストチャンバーA・Bともに、粗引き後ターボ分子ポンプによる排気を約11時間行った後、200℃で36時間のベーキングを行います。
ベーキング終了後、約15分経過の後、イオンポンプをONにして放置し、約24時間後の到達真空度を測定しました。 - 結果
グラフに示す通り、初期排気、到達真空度ともに約1桁の差が認められました。
