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改善成功事例

事例3 有機材料開発用蒸着装置 KVD-OLED Evo.Cluster
KVD-OLED Evo.Cluster
経緯

これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、問題が多々発生している。(搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが早い・蒸着レートコントロールが困難など)そこで、コンパクトであるが、最低限、既存装置の仕様を盛り込み、スペックを更にアップした装置が欲しい。

対処法

弊社、有機材料開発用蒸着装置(KVD-OLED Evo.Cluster)を提案した。本装置は、コンパクト性を有し、排気系等の使用機器類は、高グレードな物を選定し、ソフトウエア制御との組み合わせにより、蒸着の高精度化、制御系の高効率化を最大限に図る様々な仕様を提案した。本システムは、一からの設計製作になり、お客様の要望を全て盛り込む形を提案した。

結果

自動制御システムの確立により、生産効率が向上し、24時間フル稼働運転が可能になった。(以前は、9:00〜17:00運用)また、省スペース性を重視し、無駄の無い装置配置構成となっており、人間工学に基づいた取り扱いに大変優れた装置となった。操作方法として、パソコンによる操作を採用することにより、予約機能等を盛り込む事が可能となり、自由度が大幅に向上した。