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概要

弊社では、表面分析用チャンバー（極・超高真空）もしくは蒸着用チャンバー（超・高真空）を製作しております。材質は、ステンレス鋼（SUS304）もしくはアルミ（A5062）が標準となります。また、非磁性等の材料も選定可能です。フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。また、使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バフ研磨処理・電解研磨処理より選択して加工を行います。

用途

• 表面分析（STM、FIM、TEM、EELS）
• 材料蒸着（MBE、CVD、EB、スパッタ、金属材料、有機材料）
• 計測機器（CMA、AFM）

使用例

MBE装置、CVD装置、有機材料成膜装置、LT-STM装置、研究開発用蒸着・分析装置　他

弊社では、表面分析・蒸着用途に関して、極〜超高真空用チャンバーを設計・製作しております。材質は、SUS304もしくはSUS316Lが標準となります。外観としては、円筒型を選定致します。フランジは、基本的にICF規格を使用しております。加工後の表面処理においては、バフ研磨（＃400）を施した後、電解研磨処理を行う仕様が標準であります。UHVチャンバーは高品質な到達真空度が要求されますので、社内の真空炉にてベーキング処理（450℃にて48時間）を施します。ICFポートは左右（45°／90°／180°）対称方向、垂直方向に設置する設計となります。また、実験装置に組み込んでご使用になる場合、ベーキングの際にリボンヒーターを巻くことがありますが、弊社チャンバーにおいては、シースヒーターをオプションにて巻くことが可能です。

UHVチャンバーのみならず、高真空対応チャンバー（Oリング対応）の設計・製作しております。フランジは、ICF規格、JIS規格、ISO規格を使用しております。加工後の表面処理においては、仕様に合わせた表面処理を行います。チャンバー材質は、SUS304以外に、非磁性材料やAlなど多種材料にて承ります。外観は、仕様用途に合わせて、円筒型・角型・球型を設計し、規格のパイプや半球や板材を使用して製作を行います。

お客様の仕様に合わせたチャンバー設計製作が可能です。また、お客様が設計されたチャンバーにおいても、弊社設計において検証を行い、製作することが可能です。尚、特殊な仕様にも対応可能であり、特殊なパイプ（巻きパイプ）を使用してチャンバー製作が可能です。ビューイングポートなど、有効内径を必要とするポートには、取り付けフランジ径と同サイズのパイプを使用可能です。各ポートの角度も垂直方向のみならず、30°や45°など自由に角度を指定可能です。また、チャンバー製作に当たり、大きさの限界値は、ICF規格ではφ400、角チャンバーでは1000mm程度となりますが、その都度、ご要望にお応え致しております。

MBE装置など、超高真空仕様において使用される水冷付きチャンバーですが、弊社では、液体窒素導入用のシュラウド付きチャンバーやチャンバー外周に水冷パイプ巻きを施したチャンバーの製作が可能です。また、チャンバー以外にも蒸着装置では金属蒸着セルを冷却する為に、下部フランジのパイプ外周に水冷パイプ巻きを施した製品や真空内にシュラウドを設置したフランジも製作しております。尚、パイプ及びシュラウド内に流す溶媒は、冷却水もしくは液体窒素になります。

水冷付きチャンバーの仕様・導入口

水冷パイプは、チャンバーの大きさによって異なりますが、基本的に1/4インチまたは3/8インチ・1/2インチのSUSパイプを使用します。真空内にシュラウドを設置する際やチャンバー外周にパイプ巻きを施したチャンバーは、水冷系統をリークテスト実施後に出荷します。小型の水冷付きチャンバーの応用として、TSP用の水冷シュラウド（水冷＆ヒーター巻き）が製作可能です。

水冷巻きに関して

蒸着装置や加熱装置に関して、特に高温まで上昇する部分には、高温による火傷や災害を防止する為に、冷却機能を付属する形で、所定箇所に水冷巻きやシュラウド設置を推奨しております。水冷巻きに関して、パイプの巻き数や間隔は弊社にてお客様の仕様に合わせて対応しており、パイプ巻きの設置方法は要所にてタップ溶接を用いております。