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1軸・直線運動（Z軸）
ミニ直線導入機（Z軸） KML-34
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仕様
| KML-34 | ||
|---|---|---|
| 仕様 | 重量 | - (kg) |
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | |
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | |
| 移動距離 | 25 (mm) | |
| 位置決め目盛 | 0.01 (mm) | |
| 駆動軸径 | φ6 (mm) | |
| 接続フランジサイズ | ICF-34 FH | |
| 駆動方式 | ベローズ方式 (SUS316) | |
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | ||
特徴
- 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。
- 真空中に取り付けられた直進運動を要する機器へ応用出来ます。
- 超高真空領域まで使用出来ます。
- マイクロメーターヘッドを使用している為、精度を要する移動や微妙な位置調節などに最適です。
- コンパクトな設計の為、狭い場所での有効活用にも最適です。
- マイクロメーターヘッド部1回転あたりの移動量は0.5mmで、移動時のシャフトの回転はありません。
直線導入機（Z軸） KL-50・100
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仕様
| KL-50Z | KL-100Z | ||
|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 50～100 (mm) | 50～150 (mm) |
| B寸法 | 207～157 (mm) | 332～232 (mm) | |
| 重量 | - (kg) | - (kg) | |
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | ||
| 移動距離 | 50 (mm) | 100 (mm) | |
| 位置決め目盛 | 0.1 (mm) | ||
| 駆動軸径 | φ8 (mm) | ||
| 接続フランジサイズ | ICF-70 FH | ||
| 駆動方式 | ベローズ方式 (SUS316) | ||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||
特徴
- 真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。
- 真空中に取り付けられた直進運動を要する機器へ応用出来ます。
- 最大移動量は50mmと100mmの2種類より選択出来ます。
- 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
- 試料等の直進方向での移動や位置調節などに最適です。
- 駆動部1回転あたりの移動量は2mmで、移動時のシャフトの回転はありません。
ミニ上下機構（Z軸） KMUD-34(50z・100z)
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仕様
| KMUD-34(50Z) | KMUD-34(100Z) | |||
|---|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 75 (mm) | 100 (mm) | |
| B寸法 | 144 (mm) | 222 (mm) | ||
| C寸法 | 0～50 (mm) | 0～100 (mm) | ||
| 重量 | 1.0 (kg) | 1.2 (kg) | ||
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | |||
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | |||
| 移動距離 | 50 (mm) | 100 (mm) | ||
| 位置決め目盛 | 0.1 (mm) | |||
| 有効内径 | φ16 (mm) | |||
| 接続フランジサイズ | 上部 | ICF-34 FT | ||
| 下部 | ICF-34 FH | |||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | ||||
特徴
- 中空構造の直線導入機であり、コンパクトな設計の為、狭い場所での有効活用に最適です。
- 最大移動量は50mmと100mmの2種類から選択出来ます。
- 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
- 試料ホルダーや電極・熱電対等を超高真空領域内に挿入して直進運動を行うことが出来ます。
- 駆動部の1回転あたりの移動量は0.5mmとなります。
上下機構（Z軸） KUDシリーズ KUD-70(50z～300z)
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仕様
| KUD-70(50Z) | KUD-70(100Z) | KUD-70(150Z) | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 242 (mm) | 292 (mm) | 342 (mm) | |
| B寸法 | 172～222 (mm) | 172～272 (mm) | 172～322 (mm) | ||
| C寸法(移動距離) | 50 (mm) | 100 (mm) | 150 (mm) | ||
| 重量 | - (kg) | - (kg) | - (kg) | ||
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||||
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | ||||
| 位置決め目盛 | 0.1 (mm) | ||||
| 有効内径 | φ36 (mm) | ||||
| 接続フランジサイズ | 上部 | ICF-70 FT | |||
| 下部 | ICF-70 FH | ||||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||||
| KUD-70(200Z) | KUD-70(250Z) | KUD-70(300Z) | |||
| 仕様 | A寸法 | 392 (mm) | 442 (mm) | 512 (mm) | |
| B寸法 | 172～372 (mm) | 172～422 (mm) | 192～492 (mm) | ||
| C寸法(移動距離) | 200 (mm) | 250 (mm) | 300 (mm) | ||
| 重量 | - (kg) | - (kg) | - (kg) | ||
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||||
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | ||||
| 位置決め目盛 | 0.1 (mm) | ||||
| 有効内径 | φ36 (mm) | ||||
| 接続フランジサイズ | 上部 | ICF-70 FT | |||
| 下部 | ICF-70 FH | ||||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||||
特徴
- 中空構造の直線導入機であり、手動駆動型とモーター駆動型の2種類があります。
- 最大移動量は50mmと100mmの2種類から選択出来ます。
- 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
- 試料ホルダーや電極・熱電対等を超高真空領域内に挿入して直進運動を行うことが出来ます。
- 側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
- 最大移動量は50mm，100mm，150mm，200mm，250mm，300mmの6種類があります。
尚、これ以外の移動量をご希望される場合はご相談ください。 - 移動量が300mmを超える場合に限り、他の移動量の物と形状が異なりますのでご注意ください。
上下機構（Z軸） KUDシリーズ KUD-114(50z～250z)
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仕様
| KUD-114(50Z) | KUD-114(100Z) | KUD-114(150Z) | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 294 (mm) | 344 (mm) | 394 (mm) | |
| B寸法 | 217～ 267 (mm) |
217～ 317 (mm) |
217～ 367 (mm) |
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| C寸法(移動距離) | 50 (mm) | 100 (mm) | 150 (mm) | ||
| 重量 | 7.6 (kg) | - (kg) | - (kg) | ||
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||||
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | ||||
| 位置決め目盛 | 0.05 (mm) | ||||
| 有効内径 | φ66 (mm) | ||||
| 接続フランジ サイズ |
上部 | ICF-114 FT | |||
| 下部 | ICF-114 FH | ||||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||||
| KUD-114(200Z) | KUD-114(250Z) | ||||
| 仕様 | A寸法 | 444 (mm) | 534 (mm) | ||
| B寸法 | 217～ 417 (mm) |
257～ 507 (mm) |
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| C寸法(移動距離) | 200 (mm) | 250 (mm) | |||
| 重量 | - (kg) | - (kg) | |||
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||||
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | ||||
| 位置決め目盛 | 0.05 (mm) | ||||
| 有効内径 | φ39.4 (mm) | ||||
| 接続フランジ サイズ |
上部 | ICF-70 FT | |||
| 下部 | ICF-70 FH | ||||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||||
特徴
- 中空構造の直線導入機であり、手動駆動型とモーター駆動型の2種類があります。
- 最大移動量は50mmと100mmの2種類から選択出来ます。
- 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
- 試料ホルダーや電極・熱電対等を超高真空領域内に挿入して直進運動を行うことが出来ます。
- 側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
- 最大移動量は50mm，100mm，150mm，200mm，250mm，300mmの6種類があります。
尚、これ以外の移動量をご希望される場合はご相談ください。 - 移動量が300mmを超える場合に限り、他の移動量の物と形状が異なりますのでご注意ください。
上下機構（Z軸） KUDシリーズ KUD-152 Mk-Ⅱ
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仕様
| KUD-152 Mk-Ⅱ | ||
|---|---|---|
| 仕様 | Z軸移動量 | 222±25mm |
| 位置決め精度 | 0.05mm | |
| 許容リーク量 | 1.3×10-10Pa・m³/sec | |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ | |
| 接続フランジ 上部 | ICF152-FT | |
| 接続フランジ 下部 | ICF152-FH | |
| 有効内径 | Φ108mm | |
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CAD図面
（DXFファイル） |
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| 見積もり | ||
特徴
- 側面のメモリスケールを使用する事で、0.1mmでの位置決めができます。
- 他の回転導入機などと組み合わせる事で、搬送ラインの調整を行うことが可能です。
- オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、更に精密な位置決めを行うことが可能です。
- 駆動方式がベローズタイプとなりますので、200℃までのベーキングが行えます。
- 背板にリブを設けることにより、フランジ間のたわみを軽減しております。
[UHV Design社製]
上下機構（Z軸） LSM38-50-H～LSM38-150-H
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仕様
| LSM38-50-H | LSM38-100-H | LSM38-150-H | ||
|---|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 123.7mm | 187mm | 250mm |
| B寸法 | 73.7mm | 87mm | 100mm | |
| C寸法 | 205mm | 268.3mm | 331mm | |
| D～K寸法 | D=154.7mm, E=75mm, F=38mm, J=163mm, K=39mm | |||
| ストローク | 50mm | 100mm | 150mm | |
| 有効内径 | φ38mm | |||
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | |||
| 許容加熱温度 | ≦ 250(℃) | |||
| 軸方向耐荷重 | 150N | |||
| 位置決め目盛 | 1mm | |||
| 接続フランジサイズ | 上下ICF70（タップ） | |||
| 駆動方式 | ハンドホイール | |||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | ||||
特徴
- 中空構造の直線導入機であり、手動駆動型とモーター駆動型の2種類があります。
- キネマティックデザインを採用し高精度でスムーズな上下駆動を実現しました。
- ベローズフランジが交換可能なのでベローズ破損時の費用を抑えることができます。
- 最大移動量は50mm, 100mm, 150mmの中からお選びいただけます。
- 側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。
中空型直線導入機（Z軸） KLD-34・70
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仕様
| KLD-34 | KLD-70 | ||
|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 67.5±12.5 (mm) | 70±15 (mm) |
| B寸法 | φ50 (mm) | φ90 (mm) | |
| 重量 | - (kg) | - (kg) | |
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11（Pa・m3/sec） | ||
| 許容加熱温度 | ≦ 200 (℃) | ||
| 移動距離 | 最大 25 (mm) | 最大 30 (mm) | |
| 位置決め目盛 | 0.2 (mm) | ||
| 有効内径 | φ16 (mm) | φ38 (mm) | |
| 接続フランジサイズ | ICF-34 FT | ICF-70 FT | |
| 駆動方式 | ベローズ方式 (SUS316) | ||
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||
特徴
- 中空構造の直線導入機であり、コンパクトな設計の為、狭い場所での有効活用に最適です。
- 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用出来ます。
- 試料ホルダーや電極・熱電対等を超高真空領域内に挿入して直進運動を行うことが出来ます。
- 駆動部には細目ネジを使用し、1回転あたりの移動量は4mmとなります。
商品別｜導入機
CADデータのダウンロードに関して
ダウンロードボタンをクリックの上、任意の場所（デスクトップ等）に「保存」してください。ダウンロードされたEXE形式のファイルをダブルクリックするとAuto Cad形式のDXFファイルに解凍されます（解凍ソフトのインストールなどは特に必要ございません）。
- お使いのパソコンによっては、EXE形式のファイルの解凍時に「実行」の確認が出ますが、そのまま「実行」してください。また、保存場所を選択するダイアログも出ますがそのまま「展開」していただいて構いません（通常、保存先はデスクトップになっております）。
- Macintoshをご利用の方はStuffit Expander等のソフトにて解凍できます。
- 弊社ではCADデータの閲覧・編集ソフトの配布は行っておりませんのでご了承ください。
