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トランスファーロッド駆動時のガス放出
データ 残留ガス分析及びガス放出速度（ベーキング無）
測定条件
- テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、真空排気をしました。
- トランスファーロッドを連続的に稼動させ、データを取得します。
- 本測定におけるガス放出速度は、6.5×10-8Pam3s-1m-2となりました。
- 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500（標準品）となります。
KTL-500稼動時における残留ガス分析結果
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データ 残留ガス分析及びガス放出速度（プレベーキング）
測定条件
- テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、200℃にて約10日間ベーキング（トランスファーロッドのみ）を実施しました。
- ベーキング終了後、チャンバーを大気開放し、トランスファーロッドを一時取り外します。
- 取り外した後、1時間経過の後にトランスファーロッドをチャンバーに再び設置し、真空排気を行ないます。
- トランスファーロッドを連続的に稼動させ、データを取得します。
- 本測定におけるガス放出速度は、1.2×10-7Pam3s-1m-2となりました。
- 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500（標準品）となります。
KTL-500稼動時における残留ガス分析結果
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データ 残留ガス分析及びガス放出速度（ベーキング有）
測定条件
- テストチャンバーにトランスファーロッドを設置後、200℃にて約10日間のベーキング（トランスファーロッドのみ）を実施しました。
- ベーキング終了後、トランスファーロッドを上下に連続的に稼動させ、稼動前と稼動中にてデータを取得します。
- 本測定におけるガス放出速度は、3.9×10-8Pam3s-1m-2となりました。
- 測定物は、弊社トランスファーロッドKTL-500（標準品）となります。
KTL-500稼動時における残留ガス分析結果
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