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ステンレス表面処理と表面状態の関係
チャンバー内の真空特性は、チャンバーの表面状態に大きく左右されます。下記の図は、バフ研磨及び電解研磨の組み合わせによる表面の平坦性を示したものです。バフ研磨において、数値が大きい程、研磨時の目が細かいことになります。弊社では、超高真空対応チャンバー製作の際は、材料にステンレス鋼（SUS304）を使用し、表面処理として、バフ研磨（#400）と電解研磨の組み合わせを実施しております。高真空及び中真空の場合は、バフ研磨処理（#400）のみを実施し、チャンバー製作を行っております。その他、仕様に合わせて、荒バフ仕上げや、GBB処理等も承っています。
| 処理 | 効果 |
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| バフ研磨 | 表面平坦性を向上させることにより、表面積を減らし、ガス分子の吸着量を減少させます。 |
| 電解研磨 | 表面平坦性を向上させると共に、最表面に均一な酸化膜を形成させることにより、ガス分子を吸着させにくくします。 |
| バフ研磨と電解研磨の複合研磨 | より平坦性を向上させた最表面に酸化膜を形成させ、ガス分子の吸着量を最小限に抑えます。 |
表面光学顕微鏡像（上写真）と原子間力顕微鏡（AFM）像（下グラフ）
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| バフ研磨#400 電解研磨処理 |
バフ研磨 #600 電解研磨処理 |
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| バフ研磨#800 電解研磨処理 |
電解研磨処理 |