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エントリーハッチ
窓付きエントリーハッチ KVH-114・152・203 材質：SUS304
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| KVH-114 | KVH-152 | KVH-203 | ||
|---|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 54 (mm) | 59 (mm) | |
| B寸法 | 35 (mm) | 42 (mm) | 45 (mm) | |
| C寸法 | 157 (mm) | 198 (mm) | 253 (mm) | |
| D寸法 | 78 (mm) | 100 (mm) | 122 (mm) | |
| 重量 | - (kg) | - (kg) | - (kg) | |
| 許容リーク量 | ≦7.0×10-9（Pa・m3/sec） | |||
| 許容加熱温度 | ≦ 150 (℃) | |||
| 真空シール部 | O-ring／バイトン(4種D) | |||
| 有効内径 | φ62 (mm) | φ96 (mm) | φ146 (mm) | |
| 有効可視径 | φ62 (mm) | φ96 (mm) | φ146 (mm) | |
| ボルト穴径(数) | φ8.4 (mm) × 8 | φ8.4 (mm) × 16 | φ8.4 (mm) × 20 | |
| 接続フランジサイズ | ICF-114 FH | ICF-152 FH | ICF-203 FH | |
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | ||||
特徴
- 取り付けは、ICF規格ですので、お手持ちの装置にご利用できます。
- ICF規格のフランジをOリング仕様の簡易ハッチへ変更できます。
- ロードロック室等の試料導入が簡便に行えます。
- 覗き窓付き（KVH）とブランク型（KBH）の2種類より選定できます。
ブランク型エントリーハッチ KBH-70・114・152・203 材質：SUS304
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| KBH-70 | KBH-114 | ||
|---|---|---|---|
| 仕様 | A寸法 | 37 (mm) | 54 (mm) |
| B寸法 | 25 (mm) | 30 (mm) | |
| C寸法 | 105 (mm) | 157 (mm) | |
| D寸法 | 25 (mm) | 78 (mm) | |
| 重量 | - (kg) | - (kg) | |
| 許容リーク量 | ≦7.0×10-9（Pa・m3/sec） | ||
| 許容加熱温度 | ≦ 150 (℃) | ||
| 真空シール部 | O-ring／バイトン(4種D) | ||
| 有効内径 | φ36 (mm) | φ62 (mm) | |
| ボルト穴径(数) | φ6.4 (mm) × 6 | φ8.4 (mm) × 8 | |
| 接続フランジサイズ | ICF-70 FH | ICF-114 FH | |
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||
| KBH-152 | KBH-203 | ||
| 仕様 | A寸法 | 60 (mm) | |
| B寸法 | 36 (mm) | 39 (mm) | |
| C寸法 | 198 (mm) | 253 (mm) | |
| D寸法 | 100 (mm) | 122 (mm) | |
| 重量 | - (kg) | - (kg) | |
| 許容リーク量 | ≦7.0×10-9（Pa・m3/sec） | ||
| 許容加熱温度 | ≦ 150 (℃) | ||
| 真空シール部 | O-ring／バイトン(4種D) | ||
| 有効内径 | φ96 (mm) | φ146 (mm) | |
| ボルト穴径(数) | φ8.4 (mm) × 16 | φ8.4 (mm) × 20 | |
| 接続フランジサイズ | ICF-152 FH | ICF-203 FH | |
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CAD図面
（DXFファイル EXE形式） |
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| 見積もり | |||
特徴
- 取り付けは、ICF規格ですので、お手持ちの装置にご利用できます。
- ICF規格のフランジをOリング仕様の簡易ハッチへ変更できます。
- ロードロック室等の試料導入が簡便に行えます。
- 覗き窓付き（KVH）とブランク型（KBH）の2種類より選定できます。
商品別｜導入機
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