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弊社では、製作した真空部品やチャンバーに対して、真空漏れが無いか、リークテストを実施しております。
リークテストの種類と致しましては、ヘリウムリークテスト（吹付け法）を採用しております。
リークテストの方法を下記に示します。

1. リークテストを行なうサンプル（真空部品やチャンバー）を、ヘリウムを検知するヘリウムリークディテクタに接続する。
2. サンプル内を真空引きする。
3. サンプルにヘリウムガスを吹付け、リーク箇所を特定する。

リークディテクタは極微量のヘリウムも検知することが可能な為、微小なリークであっても検出することが可能です。リークテストにてリークが発見された場合は、リーク箇所を補修し、再度リークテストを行ないます。