概要・特徴
- 真空領域内に原料ガス(シラン等)、活性ガス(水素等)、不活性ガス(窒素、アルゴン等)を導入する際に使用されます。
- バルブは、SS-4H(ベローズシールタイプ)とLV-10(Oリングシールタイプ)の2種類から選択できます。
- VCRは、オス、メスのご指定が可能です。
- あらゆるフランジならびに継手類に対応致します。
- 全長は100mm(ICF-114フランジの場合のみ120mm)から、1mm単位でのご指定が可能です。
- 全長は特にご指定のない場合は、各フランジサイズでの最短全長となります。
選択表
- 下記の選択表から組み合わせてご指示下さい。
- 注文例:SS-4H(ベローズシールタイプ)の一端にICF-70フランジ、もう一端に1/4VCRオスをつけ、最短全長100mmで製作する場合。
型式 |
フランジサイズ |
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バルブ名称 |
|
継手名称 |
KT- |
ICF-34 |
- |
SS-4H
(ベローズシールバルブ) |
- |
1/4VCRオス(メス) |
ICF-70 |
3/8VCRオス(メス) |
ICF-114 |
1/4スウェージロック |
VF(VG)10 |
3/8スウェージロック |
VF(VG)20 |
VF(VG)25 |
1/4パイプエンド |
VF(VG)40 |
VF(VG)50 |
3/8パイプエンド |
NW16-KF |
NW25-KF |
LV-10(Oリングシールバルブ) |
NW40-KF |
見積もり |
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納期 |
別途ご相談ください |
※表以外の組み合わせも承っております。別途ご相談下さい。
※バルブ単体での取り扱いも承っております。
※LV-10(Oリングシールタイプ)の継手部分は、外径Φ10mmのパイプエンドになります。