近年、ナノテクノロジー、次世代半導体、フラットパネルディスプレー、新素材などの基礎・応用研究開発分野や産業界では、MBE、CVD、スパッタリングなどの薄膜作製装置やSPM、FIM、AP、CMAなどの分析装置の高性能化、高機能化、そして複合化が要求されております。
北野精機では、主に実験・研究用としての真空チャンバーをはじめ、さまざまな真空装置・機器を設計製作・提供しております。これらの装置・機器の設計製作にあたっては、部品づくりから一貫した製作体制を確立。“メインチャンバー・試料準備室・ロードロック室・試料搬送機構などの装置構成”、あるいは“各種真空ポンプや真空測定系の最適な組み合わせ”など、設計段階からお客様との綿密な打ち合わせを重ね、目的や要望を的確に把握、研究開発・実験の目的を的確にサポートする機器を設計・開発。部品づくりから処理、洗浄、組立・リークテスト、装置立ち上げ、アフターサポートまでの一貫した体制で、高品質の製品と良質な研究開発・実験環境を提供しています。

有機電子デバイス作製・評価装置

有機電子デバイス作製・評価装置	Organic Electronics Device R&D System

太陽電池作製装置

太陽電池作製装置	Solar Battery Nano Crystal SiC Deposition System

カーボンナノチューブ成長装置（KCNT）

カーボンナノチューブ成長装置	CNT：Carbon Nano Tube Growth System

スピンスプレー薄膜作製装置

スピンスプレー薄膜作製装置	Spin Supply Thin Films Courting System

MBE装置

MBE装置	MBE：Molecular Beam Epitaxy System

ビームフラックスモニター

ビームフラックスモニター	Beam Flux Monitor

CVD装置

CVD装置	CVD：Chemical Vapor Deposition System
ダイヤモンド合成装置	ダイヤモンド合成装置

スパッタリング装置

スパッタリング装置	Sputtering System
マグネトロン・スパッタリング蒸着装置	Magnetron Sputtering Deposition System
4元マグネトロンスパッタリング装置	4Source Magnetron Sputtering Deposition System

電子ビーム蒸着装置

大型EB蒸着装置	大型EB蒸着装置

PVD装置

ハイブリッド蒸着装置	ハイブリッド蒸着装置