ENGLISH
北野精機株式会社
HOME > 製品案内|薄膜作製装置 > 太陽電池作製装置 製品に関するお問合せ・資料請求はこちらから

薄膜作製装置

一覧へもどる
太陽電池作製装置

Solar Battery Nano Crystal SiC Deposition System

外観図 Dimensions
特徴

本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作製することが可能な装置です。太陽電池における光吸収層であるi層、およびpn層の各層が分離形成できるように、3つの薄膜堆積チャンバー、試料搬送用ロボットチャンバー、試料ストックチャンバーの合計5室で構成しております。

納入実績

東京工業大学 ( http://tkhshi.pe.titech.ac.jp/index.html

見積もり
太陽電池作製装置
※御客様の仕様に合わせた設計製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせください。
一覧へもどる
PAGE TOP