ビームフラックスモニター
上下機構(ストローク:50mm)
回転機構付き
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本体側面
先端センサー部
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見積もり |
ビームフラックスモニター Beam Flux Monitor |
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ビームフラックスモニターは小型B・Aゲージをセンサーとして分子線のビーム強度を測定するものです。MBE装置等にて使用されます。
回転導入期を使用したコンパクトな設計でICF-70サイズの取付けフランジを実現。お客様の仕様に合わせてストローク等変更可能です。
- センサーには、多数の真空装置で実績のある、キャノンアネルバ製のミニチュアゲージを採用
- 取付けフランジはICF-70
- シールドカバーの設置により、センサーへの汚染を最小限に抑制
- アナログ出力が可能
- 200℃までのベーキングが可能
- 表面処理により、構成部品からのガス放出が微少
- 回転機構による180℃の回転で簡単にフラックス強度を測定可能
- センサー:ミニチュアB-Aゲージ
- 回転角度:±180℃
- 取付けフランジ:ICF-70(タップ付)
- ベーキング温度:200℃(コネクタ部除く)
- オプション:上下機構
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