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北野精機株式会社
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研究開発装置・機器・部品

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ビームフラックスモニター

ビームフラックスモニター Beam Flux Monitor

外観図 Dimensions
上下機構(ストローク:50mm)
回転機構付き
ビームフラックスモニター図面
PDF(拡大版)
本体側面
先端センサー部
見積もり
ビームフラックスモニター Beam Flux Monitor
概要

ビームフラックスモニターは小型B・Aゲージをセンサーとして分子線のビーム強度を測定するものです。MBE装置等にて使用されます。
回転導入期を使用したコンパクトな設計でICF-70サイズの取付けフランジを実現。お客様の仕様に合わせてストローク等変更可能です。

特徴
  • センサーには、多数の真空装置で実績のある、キャノンアネルバ製のミニチュアゲージを採用
  • 取付けフランジはICF-70
  • シールドカバーの設置により、センサーへの汚染を最小限に抑制
  • アナログ出力が可能
  • 200℃までのベーキングが可能
  • 表面処理により、構成部品からのガス放出が微少
  • 回転機構による180℃の回転で簡単にフラックス強度を測定可能
仕様
  • センサー:ミニチュアB-Aゲージ
  • 回転角度:±180℃
  • 取付けフランジ:ICF-70(タップ付)
  • ベーキング温度:200℃(コネクタ部除く)
  • オプション:上下機構
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