有機EL試作用デバイス製造装置OLED Production Systems for R&D
有機EL成膜・評価装置 I Organic Electronics Device R&D System I
OED R&D System I
Si基板上の有機トランジスタ
<出所>
NHK放送技術研究所
有機セル:KOD-Cell
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- 小スペース、コンパクト設計
- 蒸着セル最大5本取付可能
- 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
- コンタミを防ぐ2重シールド構造
- 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
- メンテナンス・クリーニングの簡単設計
型式 |
OED R&D System I |
有機セル |
4式(電源コントロール付) |
金属セル |
4式(電源コントロール付) |
基盤サイズ |
1〜3インチ(最大8枚導入可能) |
排気ポンプ |
TMP(63L/sec) |
1台 |
TMP(300L/sec) |
2台 |
RP(150L/sec) |
3台 |
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真空計 |
3式 |
膜厚計 |
2式 |
シャッター |
基盤側シャッター1式 |
パージバルブ |
1式 |
300℃基盤加熱ヒーター |
1式(電源コントロール付) |
販売価格 |
直接お問合せください |
見積もり |
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※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
有機EL成膜・評価装置 II Organic Electronics Device R&D System II
OED R&D System II
- 小スペース、コンパクト設計
- 蒸着セル最大5本取付可能
- 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
- コンタミを防ぐ2重シールド構造
- 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
- メンテナンス・クリーニングの簡単設計
型式 |
OED R&D System II |
有機セル |
2式(電源コントロール付) |
金属セル |
2式(電源コントロール付) |
基盤サイズ |
1〜3インチ(最大8枚導入可能) |
排気ポンプ |
TMP(63L/sec) |
1台 |
TMP(300L/sec) |
2台 |
RP(150L/sec) |
3台 |
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真空計 |
3式 |
膜厚計 |
2式 |
シャッター |
基盤側シャッター1式 |
パージバルブ |
2式 |
300℃基盤加熱ヒーター |
1式(電源コントロール付) |
販売価格 |
直接お問合せください |
見積もり |
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※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
UHV対応型有機EL成膜・評価装置 III Organic Electronics Device R&D System III
OED R&D System III
蒸着室
基板ホルダー&加熱ユニット
有機セル:KOD-Cell
ITO/ガラス基板上への
Alq3膜の発光素子
<出所>
北陸先端科学技術大学院大学
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- 超高真空蒸着
- 小スペース、コンパクト設計
- 蒸着セル最大9本取付可能
- 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択が可能
- コンタミを防ぐ2重シールド構造
- 膜の均一性を図る回転プラットホーム機構
- 蒸着中でのマスク交換が可能
- 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
- メンテナンス・クリーニングの簡単設計
- 超高真空評価
- 2対マルチプローブ端子構成
- 2枚同時/同条件デバイス評価が可能
- オプションでQ-Massよるガス分析評価が可能
- 寿命・輝度の簡単評価・測定
- 真空を破壊せず持ち出せるシャトルケース付
- 簡単に基盤の出し入れできるハッチ機構
型式 |
OED R&D System III |
有機セル |
8式(電源コントロール付) |
金属セル |
1式(電源コントロール付)(2元金属蒸着セル) |
基盤サイズ |
1〜3インチ(最大4枚導入可能) |
排気ポンプ |
TMP(500L/sec) |
1台 |
(50L/sec) |
1台 |
SP(500L/min) |
2台 |
TMP(250L/sec) |
1台 |
(50L/sec) |
1台 |
SP(250L/min) |
1台 |
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真空計 |
3式 |
膜厚計 |
2式 |
シャッター |
基盤側シャッター1式 |
パージバルブ |
2式 |
300℃基盤加熱ヒーター |
1式(電源コントロール付) |
ホルダーストック |
5枚(最大6枚) |
2対マルチプローブ |
1式 |
販売価格 |
直接お問合せください |
見積もり |
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※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
有機薄膜簡易蒸着装置 Organic Thin Film Simplified R&D System
OTFS R&D System
1元金属蒸着セル:
KMDS-Cell
OTFS-R&D System
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- 小スペース、コンパクト設計
- 蒸着セル最大5本取付可能
- 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
- コンタミを防ぐ2重シールド構造
- 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
- メンテナンス・クリーニングの簡単設計
型式 |
OTFS R&D System |
有機セル |
2式(電源コントロール付) |
金属セル |
1式(電源コントロール付) |
基盤サイズ |
1〜3インチ(最大8枚導入可能) |
排気ポンプ |
TMP(63L/sec) |
1台 |
RP(150L/sec) |
1台 |
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真空計 |
1式 |
膜厚計 |
1式 |
シャッター |
基盤側シャッター1式 |
パージバルブ |
1式 |
300℃基盤加熱ヒーター |
1式(電源コントロール付) |
販売価格 |
直接お問合せください |
見積もり |
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※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
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