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北野精機株式会社
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有機EL試作用デバイス製造装置

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有機EL試作用デバイス製造装置OLED Production Systems for R&D

有機EL成膜・評価装置 I Organic Electronics Device R&D System I
OED R&D System I

Si基板上の有機トランジスタ
Si基板上の有機トランジスタ
<出所>
NHK放送技術研究所
有機セル:KOD-Cell
有機セル:KOD-Cell
OED R&D System I
特徴
  • 小スペース、コンパクト設計
  • 蒸着セル最大5本取付可能
  • 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
  • コンタミを防ぐ2重シールド構造
  • 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
  • メンテナンス・クリーニングの簡単設計
標準仕様
型式 OED R&D System I
有機セル 4式(電源コントロール付)
金属セル 4式(電源コントロール付)
基盤サイズ 1〜3インチ(最大8枚導入可能)
排気ポンプ
TMP(63L/sec) 1台
TMP(300L/sec) 2台
RP(150L/sec) 3台
真空計 3式
膜厚計 2式
シャッター 基盤側シャッター1式
パージバルブ 1式
300℃基盤加熱ヒーター 1式(電源コントロール付)
販売価格 直接お問合せください
見積もり
※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
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有機EL成膜・評価装置 II Organic Electronics Device R&D System II
OED R&D System II

有機セル:KOD-Cell
有機セル:KOD-Cell
OED R&D System II
OED R&D System II
特徴
  • 小スペース、コンパクト設計
  • 蒸着セル最大5本取付可能
  • 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
  • コンタミを防ぐ2重シールド構造
  • 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
  • メンテナンス・クリーニングの簡単設計
標準仕様
型式 OED R&D System II
有機セル 2式(電源コントロール付)
金属セル 2式(電源コントロール付)
基盤サイズ 1〜3インチ(最大8枚導入可能)
排気ポンプ
TMP(63L/sec) 1台
TMP(300L/sec) 2台
RP(150L/sec) 3台
真空計 3式
膜厚計 2式
シャッター 基盤側シャッター1式
パージバルブ 2式
300℃基盤加熱ヒーター 1式(電源コントロール付)
販売価格 直接お問合せください
見積もり
※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
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UHV対応型有機EL成膜・評価装置 III Organic Electronics Device R&D System III
OED R&D System III

蒸着室
蒸着室
基板ホルダー&加熱ユニット
基板ホルダー&加熱ユニット
有機セル:KOD-Cell
有機セル:KOD-Cell
ITO/ガラス基板上へのAlq3膜の発光素子
ITO/ガラス基板上への
Alq3膜の発光素子

<出所>
北陸先端科学技術大学院大学
OED R&D System III
蒸着室/特徴
  • 超高真空蒸着
  • 小スペース、コンパクト設計
  • 蒸着セル最大9本取付可能
  • 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択が可能
  • コンタミを防ぐ2重シールド構造
  • 膜の均一性を図る回転プラットホーム機構
  • 蒸着中でのマスク交換が可能
  • 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
  • メンテナンス・クリーニングの簡単設計
評価室/特徴
  • 超高真空評価
  • 2対マルチプローブ端子構成
  • 2枚同時/同条件デバイス評価が可能
  • オプションでQ-Massよるガス分析評価が可能
  • 寿命・輝度の簡単評価・測定
ロードロック室
  • 真空を破壊せず持ち出せるシャトルケース付
  • 簡単に基盤の出し入れできるハッチ機構
標準仕様
型式 OED R&D System III
有機セル 8式(電源コントロール付)
金属セル 1式(電源コントロール付)(2元金属蒸着セル)
基盤サイズ 1〜3インチ(最大4枚導入可能)
排気ポンプ
TMP(500L/sec) 1台
(50L/sec) 1台
SP(500L/min) 2台
TMP(250L/sec) 1台
(50L/sec) 1台
SP(250L/min) 1台
真空計 3式
膜厚計 2式
シャッター 基盤側シャッター1式
パージバルブ 2式
300℃基盤加熱ヒーター 1式(電源コントロール付)
ホルダーストック 5枚(最大6枚)
2対マルチプローブ 1式
販売価格 直接お問合せください
見積もり
※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
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有機薄膜簡易蒸着装置 Organic Thin Film Simplified R&D System
OTFS R&D System

1元金属蒸着セル:KMDS-Cell
1元金属蒸着セル:
KMDS-Cell
OTFS-R&D System
OTFS-R&D System
Organic Thin Film Simplified R&D System
特徴
  • 小スペース、コンパクト設計
  • 蒸着セル最大5本取付可能
  • 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
  • コンタミを防ぐ2重シールド構造
  • 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
  • メンテナンス・クリーニングの簡単設計
標準仕様
型式 OTFS R&D System
有機セル 2式(電源コントロール付)
金属セル 1式(電源コントロール付)
基盤サイズ 1〜3インチ(最大8枚導入可能)
排気ポンプ
TMP(63L/sec) 1台
RP(150L/sec) 1台
真空計 1式
膜厚計 1式
シャッター 基盤側シャッター1式
パージバルブ 1式
300℃基盤加熱ヒーター 1式(電源コントロール付)
販売価格 直接お問合せください
見積もり
※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
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共同研究先

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