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真空ベーキング処理効果の検証

  1. 実験使用チャンバー(ICF-152クロス管)
    機械加工→溶接加工→バフ研磨→電解研磨処理を経て製作した、2台の実験用チャンバーA・Bを使用しました。
  2. ベーキング処理法
    Aチャンバーは、リボンヒーターによる通常ベーキング(約200℃)を36時間行いました。
    Bチャンバーは、真空ベーキング炉に入れて約3時間で450℃(炉内温度)まで昇温させた後、24時間の冷却時間を経てから取り出し、その後Aチャンバーと同様のベーキングを行いました。
  3. 排気系
    排気に関しては、以下に挙げる機器を使用しました。
    • ターボ分子ポンプ …………… 50L/s、300L/s
    • ロータリーポンプ …………… 167L/min
    • イオンポンプ ………………… 110L/s
  4. 実験方法
    テストチャンバーA・Bともに、粗引き後ターボ分子ポンプによる排気を約11時間行った後、200℃で36時間のベーキングを行います。
    ベーキング終了後、約15分経過の後、イオンポンプをONにして放置し、約24時間後の到達真空度を測定しました。
  5. 結果
    グラフに示す通り、初期排気、到達真空度ともに約1桁の差が認められました。
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