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ICF規格品

ICFフランジは国際標準規格に準じた品質及び寸法であり、主に超高真空以上の領域の真空容器や継ぎ手等に使用されております。ICFフランジには、ブランク・タップ・回転の3種類があり、用途や各部品の接続環境等によって使い分けます。特に、装置全体のボリュームが大きい時などは、配管等も複雑になりますのでタップや回転フランジの働きが重要になります。許容温度範囲は、-190℃から＋450℃までの使用が可能です。通常のICFフランジの他に、ボルト穴数やフランジの厚み等の違う特殊タイプの製作も可能ですのでご相談下さい。また、超高真空領域にて用いられる場合は、ベーキング処理（真空炉450℃にて48時間ベーキング）も承ります。

ICF規格品	フランジ	ICFフランジ（FH／FT／RH）	ビューイングポート付フランジ（ゼロレングス）	KODIALガラスビューポート	ビューイングポートプロテクター（ベイカブルタイプ、窓付き）
		データ　多種ガラス材質の特徴
		シャッター機構	エントリーハッチ
	ガスケット Oリング	ガスケット（ノーマル・Ag・Au）	ガスケット（IPD、バイトン）
	継手類	単管	T管	L管（90｡エルボー）	クロス管
		六方管	キューブ	変換継手（ICF→ICF）	変換継手（ICF→KF(NW)）
		変換継手（ICF→JIS）	両面エッジ変換フランジ（ゼロレングス）	ベロージョイント	フレキシブルチューブ
	アクセサリー	ボルト・ナット

ISO（KF・LF）規格品

ISO-KF・LF規格は、ボルト、ガスケットを使用せずにセンターリングとクランプで接続しますので、他のフランジ類に比べて繰り返しの使用や各種継手との接続が容易に行えます。主に排気配管ラインに多く利用されており、フレキシブルチューブやバルブ等を挟みながら配管するにも便利です。バイトンOリングを使用していますので、ベーキングは140℃以下にて行います。

ISO（KF・LF）規格品	フランジ	ISO（KF）フランジ（NW）	ISO（LF）フランジ（NW）
	ガスケット Oリング	ISO（KF）センターリング（NW）	ISO（LF）センターリング（NW）	ISO（KF）クランプ（NW）	ISO（LF）クランプ（NW）
	継手類	単管	T管	L管（90｡エルボー）	クロス管
		六方管	変換継手（KF(NW)→KF(NW)）	変換継手（KF(NW)→ICF）	変換継手（KF(NW)→JIS）
		フレキシブルチューブ

JIS規格品

JIS規格（JIS B 2290）に定められた寸法及び品質のフランジであり、主に低真空から高真空領域までの真空容器や配管継手類等に使用されています。JISフランジにはOリング溝が有るもの（VG）と無いもの（VF）との2種類があり、相手フランジによって使い分けます。フランジのシールには、バイトンOリング（Vシリーズ）を使用しますので、ベーキングは140℃以下にて行います。通常のJISフランジ以外にも、タップ穴やフランジの厚みの違う特殊タイプの製作も可能ですのでご相談下さい。

JIS規格品	フランジ	JISフランジ（VF／VG）	ビューイングポート
	ガスケット Oリング	JISフランジ用Oリング
	継手類	単管	T管	L管（90｡エルボー）	クロス管
		六方管	変換継手（JIS→JIS）	変換継手（JIS→ICF）	変換継手（JIS→KF(NW)）
		フレキシブルチューブ
	アクセサリー	ボルト・ナット

チューブ継手付きフランジ

チューブ継手付きフランジ	チューブ継手付きフランジ

ガス導入バルブ付きフランジ

ガス導入バルブ付きフランジ	ガス導入バルブ付きフランジ

ガスライン用フレキシブルチューブ

ガスライン用フレキシブルチューブ	ガスライン用フレキシブルチューブ

電流導入端子シリーズ

電流導入端子シリーズ	電流導入端子	電流（単極）	電圧（単極）	計測・制御（多ピン）	同軸BCN端子（単極）
		同軸SHV端子（単極）	同軸高周波（単極）	熱電対角プラグ熱電対端子	熱電対丸プラグ熱電対端子
		熱電対ループエンド熱電対端子
	電流導入端子用 ケーブル＆コネクタ	電流（単極）用ケーブル＆コネクタ	電圧（単極）用ケーブル＆コネクタ	計測・制御（多ピン）用ケーブル＆コネクタ	同軸BCN端子（単極）用ケーブル＆コネクタ
		同軸SHV端子（単極）用ケーブル＆コネクタ	同軸高周波（単極）用ケーブル＆コネクタ	熱電対用ケーブル＆コネクタ	その他特殊真空ケーブル

低温高圧セル

低温高圧セル	低温高圧セル

アクセサリー

アクセサリー	ボルト・ナット	焼付き防止剤	Oリング	真空グリス
	セラミックスガイシ	ヒーター類	テープ類	チューブ類
	ホース類	ガラス類