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北野精機株式会社
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有機EL試作用デバイス製造装置

現在、注目を集めている有機EL材料を用いた有機半導体は、有機EL素子を用いた有機EL照明への応用を始め、有機ELディスプレイ、有機トランジスタ、有機薄膜太陽電池などへの研究が盛んに行われております。
当社では、簡易型のベルジャー式蒸着装置から全自動式(自動搬送・自動蒸着)のクラスター型装置、更に超高真空環境下(10-8Pa以下)における有機素子の薄膜作成から評価までをinsituにて作業できる研究開発装置を設計製造しております。

有機EL試作用デバイス製造装置

有機EL成膜・評価装置 I
有機EL成膜・評価装置 II
UHV対応型有機EL成膜・評価装置 III
有機薄膜簡易蒸着装置
 
有機材料開発用成膜装置
有機材料高速成膜装置
有機蒸着源熱処理クリーニング装置
OLED封止容器
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