有機EL試作用デバイス製造装置OLED Production Systems for R&D

有機蒸着源熱処理クリーニング装置　Thermal Cleaning System for Organic Source

有機EL、有機トランジスタ、有機薄膜太陽電池などの素子作製用の有機蒸着源のクリーニングを行う装置です。有機溶剤等にて脱着困難な有機材料をヒーターによる熱にて真空加熱を行う事で、付着物を除去する効果があります。
ヒーターには、ハロゲンヒーターを用いており、MAX500℃まで対応可能です。