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 Si基板上の有機トランジスタ
＜出所＞ NHK放送技術研究所  有機セル：KOD-Cell
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- 小スペース、コンパクト設計
- 蒸着セル最大5本取付可能
- 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
- コンタミを防ぐ2重シールド構造
- 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
- メンテナンス・クリーニングの簡単設計
| 型式 | OED R&D System I | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 有機セル | 4式（電源コントロール付） | ||||||
| 金属セル | 4式（電源コントロール付） | ||||||
| 基盤サイズ | 1〜3インチ（最大8枚導入可能） | ||||||
| 排気ポンプ |
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| 真空計 | 3式 | ||||||
| 膜厚計 | 2式 | ||||||
| シャッター | 基盤側シャッター1式 | ||||||
| パージバルブ | 1式 | ||||||
| 300℃基盤加熱ヒーター | 1式（電源コントロール付） | ||||||
| 販売価格 | 直接お問合せください | ||||||
| 見積もり |
※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
有機EL成膜・評価装置 II Organic Electronics Device R&D System II
OED R&D System II
 有機セル：KOD-Cell
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- 小スペース、コンパクト設計
- 蒸着セル最大5本取付可能
- 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
- コンタミを防ぐ2重シールド構造
- 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
- メンテナンス・クリーニングの簡単設計
| 型式 | OED R&D System II | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 有機セル | 2式（電源コントロール付） | ||||||
| 金属セル | 2式（電源コントロール付） | ||||||
| 基盤サイズ | 1〜3インチ（最大8枚導入可能） | ||||||
| 排気ポンプ |
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| 真空計 | 3式 | ||||||
| 膜厚計 | 2式 | ||||||
| シャッター | 基盤側シャッター1式 | ||||||
| パージバルブ | 2式 | ||||||
| 300℃基盤加熱ヒーター | 1式（電源コントロール付） | ||||||
| 販売価格 | 直接お問合せください | ||||||
| 見積もり |
※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
UHV対応型有機EL成膜・評価装置 III Organic Electronics Device R&D System III
OED R&D System III
 蒸着室
 基板ホルダー＆加熱ユニット
 有機セル：KOD-Cell
 ITO/ガラス基板上への
Alq3膜の発光素子 ＜出所＞ 北陸先端科学技術大学院大学 |
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- 超高真空蒸着
- 小スペース、コンパクト設計
- 蒸着セル最大9本取付可能
- 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択が可能
- コンタミを防ぐ2重シールド構造
- 膜の均一性を図る回転プラットホーム機構
- 蒸着中でのマスク交換が可能
- 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
- メンテナンス・クリーニングの簡単設計
- 超高真空評価
- 2対マルチプローブ端子構成
- 2枚同時/同条件デバイス評価が可能
- オプションでQ-Massよるガス分析評価が可能
- 寿命・輝度の簡単評価・測定
- 真空を破壊せず持ち出せるシャトルケース付
- 簡単に基盤の出し入れできるハッチ機構
| 型式 | OED R&D System III | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 有機セル | 8式（電源コントロール付） | ||||||||||||
| 金属セル | 1式（電源コントロール付）（2元金属蒸着セル） | ||||||||||||
| 基盤サイズ | 1〜3インチ（最大4枚導入可能） | ||||||||||||
| 排気ポンプ |
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| 真空計 | 3式 | ||||||||||||
| 膜厚計 | 2式 | ||||||||||||
| シャッター | 基盤側シャッター1式 | ||||||||||||
| パージバルブ | 2式 | ||||||||||||
| 300℃基盤加熱ヒーター | 1式（電源コントロール付） | ||||||||||||
| ホルダーストック | 5枚（最大6枚） | ||||||||||||
| 2対マルチプローブ | 1式 | ||||||||||||
| 販売価格 | 直接お問合せください | ||||||||||||
| 見積もり |
※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
有機薄膜簡易蒸着装置 Organic Thin Film Simplified R&D System
OTFS R&D System
 １元金属蒸着セル：
KMDS-Cell  OTFS-R&D System
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- 小スペース、コンパクト設計
- 蒸着セル最大5本取付可能
- 基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能
- コンタミを防ぐ2重シールド構造
- 基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備
- メンテナンス・クリーニングの簡単設計
| 型式 | OTFS R&D System | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 有機セル | 2式（電源コントロール付） | ||||
| 金属セル | 1式（電源コントロール付） | ||||
| 基盤サイズ | 1〜3インチ（最大8枚導入可能） | ||||
| 排気ポンプ |
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| 真空計 | 1式 | ||||
| 膜厚計 | 1式 | ||||
| シャッター | 基盤側シャッター1式 | ||||
| パージバルブ | 1式 | ||||
| 300℃基盤加熱ヒーター | 1式（電源コントロール付） | ||||
| 販売価格 | 直接お問合せください | ||||
| 見積もり |
※その他、お客様の仕様に合せて製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせ下さい。
共同研究先
- NHK放送技術研究所
http://www.nhk.or.jp/strl/group/zairyo_device/zairyo_device05.html - 北陸先端科学技術大学院大学
http://www.jaist.ac.jp/ms/labs/murata/