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 有機蒸発セル
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 2元金属蒸発セル
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| 見積もり | |
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| 有機材料高速成膜装置 | |
有機EL、有機薄膜太陽電池、有機トランジスタなどの材料開発用実験システムから小規模生産用クラスターシステム、量産対応のインラインシステムといった充実したラインアップをご用意しております。
本システムは、高速成膜が可能で、多機能な用途に対応しております。
- 有機EL素子の作製
- 有機薄膜太陽電池の作製
- 有機トランジスタの作製 等
| 有機蒸発セル | 8台 |
|---|---|
| 2元金属蒸発セル | 1台 |
| 排気ポンプ | スクロールポンプ
（250L/min）1台 |
| TMP
（300L/sec）1台 |
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| 膜厚計 | 有機室（2式・可動式） |
| 自動搬送システム | |
| 高速回転モーターシステム | |
