現在、注目を集めている有機EL材料を用いた有機半導体は、有機EL素子を用いた有機EL照明への応用を始め、有機ELディスプレイ、有機トランジスタ、有機薄膜太陽電池などへの研究が盛んに行われております。
当社では、簡易型のベルジャー式蒸着装置から全自動式(自動搬送・自動蒸着)のクラスター型装置、更に超高真空環境下(10-8Pa以下)における有機素子の薄膜作成から評価までをinsituにて作業できる研究開発装置を設計製造しております。
有機EL成膜・評価装置 I |
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有機EL成膜・評価装置 II |
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UHV対応型有機EL成膜・評価装置 III |
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有機薄膜簡易蒸着装置 |
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有機材料開発用成膜装置 |
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有機材料高速成膜装置 |
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有機蒸着源熱処理クリーニング装置 |
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OLED封止容器 |
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