現在、注目を集めている有機EL材料を用いた有機半導体は、有機EL素子を用いた有機EL照明への応用を始め、有機ELディスプレイ、有機トランジスタ、有機薄膜太陽電池などへの研究が盛んに行われております。
当社では、簡易型のベルジャー式蒸着装置から全自動式（自動搬送・自動蒸着）のクラスター型装置、更に超高真空環境下（10-8Pa以下）における有機素子の薄膜作成から評価までをinsituにて作業できる研究開発装置を設計製造しております。

有機EL試作用デバイス製造装置

有機EL成膜・評価装置 I	OED-R&D System I
有機EL成膜・評価装置 II	OED-R&D System II
UHV対応型有機EL成膜・評価装置 III	OED-R&D System III
有機薄膜簡易蒸着装置	OTFS-R&D System
	共同研究先
有機材料開発用成膜装置	KVD-OLED Evo.2
	KVD-OLED Evo.3
	KVD-OLED Evo.Cluster
	KVD-OLED Evo.1
有機材料高速成膜装置	Organic Material High-Speed Growth System
有機蒸着源熱処理クリーニング装置	Thermal Cleaning System for Organic Source
OLED封止容器	OLED Sealing Box