• ホルダー後端部に大型の放熱フィンを搭載することにより自然空冷のみで試料温度-20℃を実現しています。
  ※冷却時は放熱フィン部の放熱のため、TEM本体のカバーは開けた状態で使用する必要があります。
• 試料装着部は周囲の部品から断熱的に固定され、また伝熱用の内部部品とは箔を介して接続されているため、温度安定後は非常にドリフトが少ない状態で観察することができます。
• 試料用の電極を搭載するなど、柔軟なカスタマイズに対応致します。また、加熱・冷却以外の他の機能と組み合わせることが可能な場合があります。
  　製作実績例
  　・大気遮断状態での試料搬送機能との組み合わせ
  　・プローブ駆動機能との組み合わせ

日本電子様製TEM（URP以上のポールピースギャップがある機種、超高圧電顕については未対応）
その他メーカー製様のTEMについてはお問い合わせください。

• 加熱機構により、試料を加熱しながら原子の構造変化や熱的な反応、蒸発等を観察及び測定することが出来ます。
• 加熱には通電加熱式の無誘導ヒーター（PG-PBN）を用い、測温はタングステンレニウム熱電対を使用しています。

• ガス導入用バルブにはPZTアクチエーターを使用して振動を抑えていますので、標準ホルダーと同レベルの分解能で試料の観察及び測定をすることが出来ます。
• 試料ホルダー及び試料室へのガス導入を行うことが出来ます。
• 導入するガスのタンクへの充填も可能です。
• 試料室と真空容器の間は複数のオリフィスで仕切られていますので、高いガス圧力下での観察及び測定が可能です。
• 観察及び測定中のガスの排気はTEMホルダーの差動排気にて行えますので、TEM本体への影響は軽減されています。

• オリフィスによる差動排気を利用して試料へのガス導入をすることが出来ます。
• 試料へのガス導入は、ホルダーグリップ部に内蔵されているリザーバタンクより供給することが出来ます。
• ガス圧力の測定は、試料室に導入されたガスセンサーにより計測します。
• ガスの流量は調整することが出来ます。
• 試料ホルダーはX軸傾斜機能が付いていますので、角度を付けながら試料へのガス導入が可能です。
  （XYZ軸方向への稼働は電子顕微鏡本体ゴニオメーターに準じます）
• オリフィスは固定部品の交換によりサイズの変更が可能です。（OP）
• 試料ガス：酸素、大気、アルゴン、CO＋大気、水素＋アルゴン
  （ガス混合及び供給装置は含まれておりませんのでお客様方にてご用意下さい）

• 本ホルダーは傾斜が可能ですので、ガス及び光を導入した状態でもポールピースと干渉しません。
• 外部からのガス供給システム及びリザーバタンク等を利用して、試料近傍に酸素、窒素等ガスを導入することが出来ます。
• 試料へのガス導入は、ガス供給システムからの他、試料ホルダーのグリップ部にリザーバタンクが内蔵されていますので、TEMホルダー単体からでもガス導入を行うことが出来ます。
• ガスの流量調整は内蔵されている2個のバルブで行うことが出来ます。（1個は微調整用）
• 光源導入用の専用コネクタを設置していますので、光ファイバー等お手持ちの光源を接続し、試料近傍に紫外〜可視光を照射することが可能となります。
  （光源は含まれておりません。お手持ちの光源をご利用頂けるよう対応いたします）
• 様々な内容の実験、観察及び測定に対応出来るよう分解及び再組み立てが可能な構造になっていますので、ガス及び光導入用のパーツ交換等を容易に行うことが出来ます。

• 試料ホルダー部は、用途に応じた特殊な種類又は形状に対応した試料ホルダーをご用意いたします。
• 試料ホルダーはX軸傾斜機能が付いていますので、角度を付けながら試料へのガス導入が可能です。
• 取り付けた試料を、試料ホルダー（X軸）に対しY軸方向へも傾斜させることが出来ます。
  （XYZ軸方向への稼働は電子顕微鏡本体ゴニオメーターに準じます）
• 試料へのガス導入は、ホルダーグリップ部に内蔵されているリザーバタンクより供給することが出来ます。
• ガス圧力の測定は、試料室に導入されたガスセンサーにより計測します。
• ガスの流量は調整することが出来ます。
• オリフィスは固定部品の交換によりサイズの変更が可能です。（OP）
• 試料ガス：酸素、大気、アルゴン、CO＋大気、水素＋アルゴン
  （ガス混合及び供給装置は含まれておりませんのでお客様にてご用意下さい）

• 二つのガスタンクから試料ホルダー部まで別々に配管されていますので、同時、単独又は流量配分しながら等用途や実験目的に応じたガス導入を行うことが出来ます。
• ガス導入用バルブにはPZTアクチエーターを使用して振動を抑えていますので、標準ホルダーと同レベルの分解能で試料の観察及び測定をすることが出来ます。
• ガスタンク（1個：50cc）及びバルブはユニット化されていますので簡単に交換することが出来ます。
• 試料ホルダー部は、用途に応じた特殊な種類又は形状に対応した試料ホルダーをご用意いたします。
  （例：集光ミラー内への導入等に対応した薄型タイプ等）

• 試料ホルダー部は、特にフィルム状試料に対応していますが、用途に応じた特殊な種類又は形状に対応した試料ホルダーをご用意いたします。
• 引っ張り機構は、PZTスキャナー及びDCモーターを利用しますので、粗・微動引っ張りに対応します。
• 試料の応力変化過程は、歪みゲージを利用してその抵抗値をブリッジ回路にて検出し測定します。
• 引っ張り機構を利用し、CNT（カーボンナノチューブ）の引っ張り強度測定等も行うことが出来ます。

• 試料ホルダー先端部への通電加熱機構を追加することが出来ますので、試料を加熱しながら観察及び測定することも可能になります。
• お客様の用途目的に応じて、位置決め機構付きや引っ張り強度測定機能付きの製作も可能です。

• 試料ホルダー部に通電加熱用のヒーターが組み込まれ、蒸着源がセット出来る構造になっていますので、試料を取り付けた後そのまま蒸着から観察及び測定まで行うことが出来ます。
• 試料には標準ディスクを利用することが出来ます。
• ヒーターにはタングステンフィラメント(W)を使用し、測温にはタングステンレニウム（W-Re）を使用します。

• グローブボックス内で嫌気性材料を試料ホルダーへ装着後、直接電子顕微鏡へ挿入する構成になっていますので大気に触れることなく観察及び測定を行うことが出来ます。
• 本試料ホルダーは2軸傾斜が可能ですので、ポールピースに於いてX及びY軸方向へ傾斜させながら観察及び測定をすることが出来ます。
• 4極の電流導入端子を備えており、各極最大0.5Aの電流を流すことが出来ますので、様々な電気化学的な実験、観察及び計測を行うことが出来ます。
• TEMホルダーの大気遮断はスリーブ方式ですので、他型のホルダーへの交換も容易に行うことが出来ます。
• 試料ホルダー部は標準サイズのTEM試料の装着も可能です。
• 真空引き口（NW10KF）を備えていますので、必要に応じて高真空にも対応することが出来ます。
• TEMホルダー内の真空は、封じ切って大気中に放出した状態で5X10^-2Pa以下の真空度を10分以上保持することが出来ます。

• 真空中で様々な加工を施された試料を、グローブボックス内で真空封止してそのまま挿入することが出来るので、大気による酸化や汚染等を防ぐことが出来ます。
• アライメントの調整用にベロージョイント（KBJ-34）も付いていますので、ねじ込み式のカバーキャップも容易に取り付けることが出来ます。
• エントリーBOXには上面及び左右側面に窓を設けてありますので、操作性良く試料封止ホルダーの脱着を行うことが出来ます。（既存装置のエントリーBOXとの交換が可能です）