有機蒸着セルOrganic Deposition Cell
有機蒸着セル Organic Deposition Cell
KOD-Cell
本製品は高蒸気圧材料（有機物）薄膜成長用に、低温で安定して動作できる低温セル（Organic Deposition Cell：KOD-Cell）です。KOD-Cellは間接加熱方式の採用により、優れた温度応答性と温度安定性を備えています。
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 *L寸法を御指示願います。 |
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ITO/ガラス基板上への
Alq3膜の発光素子
＜出所＞
北陸先端科学技術大学院大学
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| 型式 |
KOD-Cell |
| ルツボ容量 |
1cc |
| 標準価格 |
480,000円 |
| 見積もり |
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| ヒーター |
シース型 |
| 最高動作安定温度 |
500℃ |
| 温度安定性 |
±0.2℃ |
| 熱電対 |
K型（C/A） |
| ルツボ材質 |
シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN |
| ルツボ容量 |
1cc |
| 冷却方式 |
水冷ジャケット付（SUS 1/4“管） |
| シャッター機構 |
手動式／圧空式(オプション) |
| 面内分布 |
2インチ内にて下記の分布を保証致します。
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| 材料効率 |
1ccのルツボにて下記の有機材料成膜を保証致します。
- 0.2gの材料にて、1Å/sのレートで50nmの成膜を5回以上可能
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| 蒸着レート |
0.01Å/sが容易に可能（Inficon社製膜厚計を推奨） |
| TS間距離 |
基板から蒸着源までの推奨長は、250mmです。 |
| 蒸着特性 |
下記グラフ参照 |
ルツボ容量は1ccと小型で、幅広い用途・手軽な使用が可能です。
厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です。
シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます。
シャッター機構付ですので蒸着の調整が容易です。
- 優れた温度安定性：±0.2℃
- オーバーシュート値：0.2℃以下
*その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。 こちらへお問合せください。
有機蒸着セル II型 Organic Deposition Cell Type II
KOD-Cell II
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 *L寸法を御指示願います。 |
| 型式 |
KOD-Cell II |
| ルツボ容量 |
10cc/4cc |
| 標準価格 |
680,000円 |
| 見積もり |
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| 加熱制御温度 |
100℃〜500℃ |
| ルツボ材質 |
シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN |
| 電源コントローラ |
主電源AC100V PID制御 |
- ICF-70によるコンパクト/省スペース設計
- シャッター機構標準装備
- ±0.1℃による温度設定が可能
*その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。 こちらへお問合せください。
本電源は、弊社有機蒸着セルKODシリーズ対応の小型交流電源となります。電源制御は、SCR（サイリスター）による位相制御とし、電源電圧は100V仕様となります。
| 型式 |
KTC-15A（代替機） |
| 寸法 |
140mmx150mmx260mm |
| 重量 |
3kg |
| 温度制御 |
エリア PID |
| 電源 |
100V/200V 15A |
| 熱電対コネクタ |
ミニチュアプラグ |
| ヒーターコネクタ |
専用コネクタ |
| 信号出力 |
0-10v*2点 |
| 標準価格 |
320,000円 |
| 見積もり |
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 廃盤（販売中止）
| 型式 |
KTC-2ASP プログラムコントローラー付きタイプ |
- 電源電圧100V/200Vに対応
- 電流容量が15Aまで対応
- 信号出力端子2系統
- 簡易プログラムでの温度制御可能
- 専用ソフトでロギングが可能
- ヒューズが外部から交換可能
- 取っ手がついて持ち運びに便利
- 従来品に比べ軽量化
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