LEED分析用 極高真空装置

低速電子線回析装置／ 
LEED：Low Energy Electron Diffraction

本装置は電子線の回析現象を利用し、表面の結晶構造などを観察する電子検出形表面分析装置です。(8.2.2)

Omicron社製 LEED AES （ http://www.omicron.de/index2.html ）