3Dアトムプローブ装置 (3D-AP) 用 極高真空装置

3次元アトムプローブ装置／ 3D-AP：3-Dimension Atom Probe Microscope

1988年にオックスフォード大学のA. Cerezoらにより開発された位置敏感型アトムプローブ(position sensitive atom probe, PoSAP)は、アトムプローブの検出器に位置敏感型検出器(position sensitive detector)を取り入れたもので、分析に際してアパーチャーを用いずに検出器に到達した原子の飛行時間と位置を同時に測定するこができる装置です。この装置を用いれば試料表面に存在する合金中の全構成元素を原子レベルの空間分解能で２次元マップとして表示する事が出来るばかりでなく、電界蒸発現象を用いて試料表面を一原子層ずつ蒸発させることにより、2次元マップを深さ方向に拡張していくことにより3次元マップとして表示・分析が出来る顕微鏡装置です。
（引用：http://www.nims.go.jp/apfim/exhibition3DAP.html）

主な装置構成は、分析室、試料ストック室、試料導入室等の超高真空〜極高真空領域の3室から構成されます。

Kind brisuku社製 3D-AP （ http://www.materials.ox.ac.uk/fim/ ）
Cameca社製 3D-AP （ http://www.cameca.fr/ ）

（独）物質・材料研究機構殿 （ http://www.nims.go.jp/apfim/exhibition_j.html ）
金沢工業大学殿 （ http://www2.kanazawa-it.ac.jp/nanotech/ ）
東北大学殿 （ http://apfim.imr.tohoku.ac.jp/ ）
…他

引用文献：
「真空用語辞典」 日本真空工業会偏　（株）工業調査会発行 (7.1.14.10) (8.1.2) (8.2.2)（8.2.2.1）