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北野精機株式会社
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有機・金属蒸着セル

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有機蒸着セルOrganic Deposition Cell

有機蒸着セル Organic Deposition Cell
KOD-Cell

本製品は高蒸気圧材料(有機物)薄膜成長用に、低温で安定して動作できる低温セル(Organic Deposition Cell:KOD-Cell)です。KOD-Cellは間接加熱方式の採用により、優れた温度応答性と温度安定性を備えています。

Organic Deposition Cell
Organic Deposition Cell
*L寸法を御指示願います。
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仕様
電源コントローラー(別売)KTC-2A
電源コントローラー
(別売)
KTC-2A
有機セル:KOD-Cell
ITO/ガラス基板上への
Alq3膜の発光素子
<出所>
北陸先端科学技術大学院大学
型式 KOD-Cell
ルツボ容量 1cc
標準価格 480,000
見積もり
ヒーター シース型
最高動作安定温度 500℃
温度安定性 ±0.2℃
熱電対 K型(C/A)
ルツボ材質 シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN
ルツボ容量 1cc
冷却方式 水冷ジャケット付(SUS 1/4“管)
シャッター機構 手動式/圧空式(オプション) 
面内分布 2インチ内にて下記の分布を保証致します。

  • 有機膜:±2.5%
材料効率 1ccのルツボにて下記の有機材料成膜を保証致します。

  • 0.2gの材料にて、1Å/sのレートで50nmの成膜を5回以上可能
蒸着レート 0.01Å/sが容易に可能(Inficon社製膜厚計を推奨)
TS間距離 基板から蒸着源までの推奨長は、250mmです。
蒸着特性 下記グラフ参照
特徴

ルツボ容量は1ccと小型で、幅広い用途・手軽な使用が可能です。
厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です。
シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます。
シャッター機構付ですので蒸着の調整が容易です。

  • 優れた温度安定性:±0.2℃
  • オーバーシュート値:0.2℃以下
KOD-Cell Data
KOD-Cell Data
PDF(拡大版)
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用途
  • 高蒸気圧材料薄膜の成長
  • 有機物薄膜の成長

*その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。 こちらへお問合せください。

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有機蒸着セル II型 Organic Deposition Cell Type II
KOD-Cell II

Organic Deposition Cell Type II
Organic Deposition Cell Type II
*L寸法を御指示願います。
仕様
電源コントローラー(別売)KTC-2A
電源コントローラー
(別売)
KTC-2A
型式 KOD-Cell II
ルツボ容量 10cc/4cc
標準価格 680,000
見積もり
加熱制御温度 100℃〜500℃
ルツボ材質 シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN
電源コントローラ 主電源AC100V PID制御
特徴
  • ICF-70によるコンパクト/省スペース設計
  • シャッター機構標準装備
  • ±0.1℃による温度設定が可能

*その他御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。 こちらへお問合せください。

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有機蒸着セル用電源 KTC-2A

本電源は、弊社有機蒸着セルKODシリーズ対応の小型交流電源となります。電源制御は、SCR(サイリスター)による位相制御とし、電源電圧は100V仕様となります。

KTC-2A
KTC-2A
型式 KTC-2A 標準タイプ
標準価格 250,000
見積もり
型式 KTC-2ASP プログラムコントローラー付きタイプ
標準価格 350,000
見積もり
特徴
  • 電源コントロールはSCRによる位相制御となります。
  • コントローラーには、温調計D100(理化工業)を用いています。(標準タイプ)
  • プログラムコントロールする場合は、PF900(理化工業)に変更可能です。(型式:KTC−2ASP)
  • 電流容量は最大20A仕様となります。
  • KODシリーズに合わせる為、電流計は2A仕様となります。(仕様電流が1A以下にて設定温度に達する為)
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