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北野精機株式会社
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分析装置・機器

近年、ナノテクノロジー、次世代半導体、フラットパネルディスプレー、新素材などの基礎・応用研究開発分野や産業界では、MBE、CVD、スパッタリングなどの薄膜作製装置やSPM、FIM、AP、CMAなどの分析装置の高性能化、高機能化、そして複合化が要求されております。
北野精機では、主に実験・研究用としての真空チャンバーをはじめ、さまざまな真空装置・機器を設計製作・提供しております。これらの装置・機器の設計製作にあたっては、部品づくりから一貫した製作体制を確立。“メインチャンバー・試料準備室・ロードロック室・試料搬送機構などの装置構成”、あるいは“各種真空ポンプや真空測定系の最適な組み合わせ”など、設計段階からお客様との綿密な打ち合わせを重ね、目的や要望を的確に把握、研究開発・実験の目的を的確にサポートする機器を設計・開発。部品づくりから処理、洗浄、組立・リークテスト、装置立ち上げ、アフターサポートまでの一貫した体制で、高品質の製品と良質な研究開発・実験環境を提供しています。

CMA:電子エネルギー分析システム

KCMA2009
<取得データ一覧>

FIM:電界イオン顕微鏡装置

FIM:電界イオン顕微鏡装置
簡易型FIM装置

SEM用 極高真空装置

走査電子顕微鏡装置

走査プローブ顕微鏡装置(SPM)用 極高真空装置

走査プローブ顕微鏡装置

HR-EELS装置用 極高真空装置

電子エネルギー損失分光装置

LEED分析用 極高真空装置

低速電子線回析装置

3Dアトムプローブ装置 (3D-AP) 用 極高真空装置

3次元アトムプローブ装置

分析・観察・評価装置

UHV対応レーザー顕微鏡装置
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