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北野精機株式会社
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納入実績

2016年度 【装置/System】
有機ELデバイス作成装置1号機:OLED-K1
有機ELデバイス作成装置2号機:OLED-K2
特型CRYOシステム KCRYO-01
液中薄膜コーティング装置 KEHC-01
表面イオン化器3号機 KSI-III
ポテンショメータ電圧検出機能付モーター制御装置
【機器/機構など】
帯電防止用電子銃 FS40A1
真空用小型Zθステージ KSZθ-01
多機能性ホルダー KMFH-01
有機光電変換膜成膜装置搬送機構
有機蒸着セル用シャッター板
中空回転導入機構
検出器用超高真空チャンバー専用排気ユニット
ステージコントローラー
【TEM用試料ホルダー】
大気非暴露型電気計測TEMホルダー
ペルチェ温度調整TEMホルダー
2軸高温引張り試験用TEMホルダー
標準TEMホルダー KTEMH-01
イオンクリーナー用TEMグリッド加熱ホルダー
引張り試験用TEMホルダー改造
【UHVチャンバー】
MBE Chamber
STM Chamber
XPS試料導入室(ロードロック室)
反応容器 KRC-2015
観察用チャンバー
【セル・るつぼ等】
小型CLBO温調セル
フリーマウント式金属蒸着源 KFMD-1
【修理改造・保守・メンテナンス等】
クライオポンプ・オーバーホール
ベルジャー式蒸着装置無害化処理
ドライポンプオーバーホール
有機ELデバイス作成装置改造
セルシャッター交換修理
有機ELデバイス作成装置移設作業
STM装置移設作業費
有機材料開発用成膜装置・移設作業
2015年度 【装置/System】
イオンエッチング装置 KIES-01
ガス分析用装置 KGA-System
MBE装置
中性化効率測定装置
OPV用蒸着装置
小型オージェ電子分光システム
【機器/機構など】
超高真空対応基板加熱用ユニット KUHV-SH
試料冷却ステージ付き4軸マニピュレーター KSCM-04
XPS用パーマイロシールド KXPS-S01
液体中測定用MCBJユニット KMCBJ-03
H2Oトラップ冷却機構
質量分析システム用一価イオン源
試料ステージω軸指定部
モーター駆動型セミ・マニピュレーター
検出器位置移動用X-Yトランスファーステージ
試料測定用加熱ステージ
放電ユニット
質量分析用真空排気系
Niベース
【極低温機器】
LHeトランスファーチューブ
LN2冷却プローブユニット
試料冷却ヘッド
【TEM用試料ホルダー】
真空封止冷却TEMホルダー
【UHVチャンバー】
基幹チャンバー
極高真空チャンバー
【セル・るつぼ等】
触媒反応その場XRD観察用試料セル KBW-XRDSC
金属蒸着セル KMD-Cell
有機蒸着セル
有機蒸着セル用るつぼ
【修理改造・保守・メンテナンス等】
ガリウムヒ素成長用分子線エピタキシー装置無害化処理作業
真空蒸着装置ソフトウェア全自動化
有機ELデバイス製造装置ソフトウェア英語化
有機蒸着セル保守
クライオポンプ・オーバーホール
レーザースパッタ装置メンテナンス
MBE装置移設作業
有機ELデバイス製造装置移設作業
真空装置移設作業
真空加熱脱ガス処理サービス
2014年度 【装置/System】
OLED Deposition Machine <TYPE-A1>
OLED Deposition Machine <TYPE-A2>
Special Load Lock System
試料冷却システム KSCS-01
Movement of Vaccum System
液中析出装置 TLE-01
電極コーティング装置 KECE-01
PYS-IPES複合装置
搬送機構付きロート゛ロックシステム KLL-316L-TR
SEM導入用摩擦試験機
ホルダー駆動システム
【機器・機構など】
ターゲット加熱機構
MCBJユニット MCBJ-02
多極端子導入ユニット
有機膜蒸着源の自動制御化
超電導搭載駆動用ベローズ及び調整機構
真空対応軟X線用超小型4象限スリット
低速陽電子ビームパルスストレッチセクション
試料加熱&冷却ステージ
ビームフラックスモニター
極低温用温度コントローラー
アジャスティングコイル設置フレーム KACF-01
架台・排気ユニット用環境制御ガス供給ユニット
Be窓付き短管
試料クリーニング用電子銃
スパッタ装置用加熱式マニピュレーター
MCP用マニピュレーター
【極低温機器】
超高真空対応クライオスタット用試料交換システム
MRI用He凝縮器
改造HCS用トランスファーチューブ
4K対応型クライオヘッド KCH4K-2013
コールドトラップ3号機
HCS用コールドチャンバー
MRI用実験コールドチャンバー
【TEM用試料ホルダー】
有機デバイス観察用TEMホルダー KOD-TEM01
二軸荷重負荷TEMホルダー KLIIT-01
極低温型TEMホルダー
電流―電圧測定用TEMホルダー
一軸傾斜ガス加熱試料TEMホルダー
大気遮断ホルダー用ピエゾ駆動2連探針電子顕微鏡ホルダー芯軸
【UHVチャンバー】
超高真空チャンバー
有機蒸着基板搬送用真空チャンバー
ロードロック真空槽
RT-STMChamber
試料チャンバー
超高真空チャンバー KUHVC-316
【セル・るつぼ等】
セル真空保管容器(SUS316L)
セル脱ガスチャンバー
セル脱ガス用LN2シュラウド
非線形結晶小型温調セル
搭載用小型CLBO温調セル
実験用サンプルセル(II)
固体レーザベース用CLBO小型温調セル
Crucible of KOD-Cell
タングステンルツボ
蒸着セル用ルツボ
プラズマセル
防着マスク
2013年度 アルミ蒸着システム
イオン源チャンバー KION-01
簡易有機蒸着装置
5軸自動試料ステージ
低融点材料蒸着システム KLTDS-5501
極低温用ロータリージョイント
試料加熱チャンバー
軟X線回析装置用3軸ステージ
VACチルト機構
試料傾斜機構
ピエゾ回転ステージ
モニターシステム
長時間加熱蒸発源
真空封止型TEMホルダー
有機デバイス観察用TEMホルダー
真空チャンバー
バックグラウンド低減型放射光X線構造解析用試料冷却機構装置
有機EL作製装置用グローブボックス
塗布材料評価装置
低温トラップ式ガス捕集/分析装置
低温トラップ式ガス捕集/分析装置用高速シャッター
TEMホルダー保管用グローブボックス
LH2トランスファーチューブ
銀薄膜堆積用マグネトロンスパッタ装置
極低温MCBJ装置
超高真空基板搬送システム
ピエゾ駆動探針ホルダー芯軸
MCD/低温伝導測定用ホルダー
160ポート多岐管
光学チャンバー
特型極高真空チャンバー
特殊2軸型回転導入機
EB蒸着装置
2室式真空チューブ炉真空バルブ
ガス分析装置
STMユニット
超伝導マグネット
有機EL蒸着機
熱CVD装置
MBE装置
スピンスプレー・フェライトメッキ装置
中性化器3号機
放射光パルス磁場中XMCD測定用試料マニピュレーションシステム
超高真空層および超低温走査型プローブ顕微鏡システム
XPS装置用超高真空システム
MBE/スパッタシステム
真空封止型搬送用TEMホルダー
環境制御試料TEMホルダー
大気遮断ホルダー用資料冷却ホルダー芯軸
真空封止型試料搬送機構(TEM/FIB)
昇温脱離機構
試料冷却ヘキ開機構
摩擦試験機導入ユニット
超高真空用極低温用小型冷凍機
真空断熱部材
熱電子電流測定装置圧力コントローラー(II)
前処理室用マニピュレーター
超高真空トンネルチャンバー
E-Gunチャンバー
高分解能RBSチャンバー
ERDA用チャンバー
スパッタリング・チャンバー
XPS用チャンバー
STMチャンバー
収束イオンビーム装備型回析顕微鏡検出鏡筒
リークディテクター(アルバック・ファイ社製品)
クライオポンプ・オーバーホール(アイシン精機社製)
2012年度 酸化処理用装置
磁気伝導測定用架台システム
有機材料成膜評価装置
特型有機素子作成装置
パッシブ型有機EL試作装置
金属蒸着セル用特殊ルツボ
有機薄膜成長システム
特型有機蒸着セル・電源
金属蒸着セル・直流電源
高真空コンタクトプローブ装置
試料冷却・へき開機構
特殊低温スパッタ装置FP-21
特型スパッタリング装置
スパッタ装置防音対策パネル
冷却クラスター源/クラスター薄膜生成装置
大型HF-CVD装置
ビームモニター&標的搬送機構
ビームフラックスモニター
大気遮断ホルダー
熱電子電流測定システム
MCBJ装置
真空計校正装置
静電容量式露点計
磁場対応超高真空STM装置
除振機能付きSTM装置
STM搬送室
LT-STM用クライオスタット
クライオスタット
マグネット冷却デュワー
超高真空用極低温小型冷凍機
試料搬送機構 KSCS-01
高電圧導入ベルジャー装置
高電圧マニピュレーター
傾斜膜用シャッター機構
反応ガス2種導入TEMホルダー
測定・保管デシケーター
5軸自動試料ステージ
検出器交換システム及び試料ホルダー交換システム
真空対応軟X線4象限スリット
光軸確認システム
特型真空排気装置
二軸傾斜ガス加熱TEMホルダー
試料マニピュレーターシステム
試料測定用マニピュレーター・試料加熱機構
軟X線2軸回析計用チェンバー及びステージ
斜入射基板回転加熱装置
共鳴散乱回析:顕微鏡カメラ導入機構
XFEL回析イメージング装置3軸運動導入機構
高精度標的移動ステージ
ω・2θステージ
ロードロックシステム
溶液XAFS用チャンバー
CCD固定用架台
入射ゲートバルブ
特殊電子線ホログラフィー光検出システム
熱カバーシールド
アトムプローブ
圧力容器
イオン銃チャンバー
2011年度 2Kvスパッタイオン銃
電子エネルギー分析システム
中性原子ビーム装置
探針先端観察装置
4元スパッタチャンバー
4元スパッタ・試料交換室
共鳴軟X線回析装置内部τsステージ
溶液反応用TEMホルダー
ガス及び光導入機構付TEMホルダー
その場観察用TEMホルダー
クライオスタット用XYZステージ
アッテネーターシステム
ポジトロニウム負イオン測定チャンバー
FE特性測定装置
小角散乱XYZステージ自動化
多重管トランスファーチューブ
ヘリウム冷凍チャンバー
単結晶育成装置
試料加熱・冷却ステージ
有機材料蒸着源
KC-FPトラップ装置
有機EL作製装置
超高真空ツインRFスパッタ成膜装置
金属蒸着セル
イオントラップ装置
プローブ用モーター付上下機構
インライン素子用グローブボックス
凍結乾燥機
超高真空用極低温小型冷凍機
試料ステージ(5軸自動)
プラズマ発生装置
2010年度 LT-PFM装置
Rbオーブン
STM装置用除振システム
高感度電子線観察装置
有機EL用高速成膜装置
超高真空RFスパッター蒸着装置
凍結乾燥装置
微少重力試験機
有機薄膜簡易蒸着装置 OTFS R&D System
冷却基盤ビーム曝露システム
簡易型蒸着装置
小型三次元加工機MF-150A/HP (CANON電子社製)
小型電動射出成形機LS300i インサート機(CANON電子社製)
UHV蒸着チャンバー&基板加熱機構
電子エネルギー分析システムKCMA-2009
簡易型FIM装置
超高真空極低温小型冷凍機付FIMシステム
加熱機構付TEMホルダー
蒸着機構付TEMホルダー
電気測定TEMホルダー
ガス反応型TEMホルダー
X線測定用チャンバー
ペルチェ素子測定用チャンバー&ブロック
四重極電極用角チャンバー
粒状体熱特性測定用チャンバー
Heデュワー用チャンバー
LHeタンク
クライオヘッド
ラディエーションシールド
回転上下機構付き試料冷却ヘッド
LHeトランスファーチューブ
極低温冷媒用ロータリージョイント
有機素子搬送用ボックス(16枚用)
有機素子密閉容器
3D-AP振動対策ユニット
磁気シールユニット
VUV光源接続ユニット
エッチング制御機構
試料搬送ユニット
試料冷却ユニット
水銀加熱気化ユニット
熱交換器ユニット
熱電子電流測定ユニット
発光測定用絶縁ステージ
反応室圧力測定ユニット
可動型有機蒸着源
水平突出蒸着源
高温蒸着源
4分割偏向電極
RF-CVDアノード電極
四重極電極
軟X線用フィルム窓
炉内観測窓
LT-STM用通電加熱ホルダー
X線用高圧セル
スピン偏極陽電子線源カプセル
磁場印加サンプルホルダー
2009年度 有機材料成膜装置
電子デバイス評価装置
電子デバイス作製装置
全自動材料成膜評価装置
有機EL成膜装置改造(他社製実験システム)
高効率成膜装置
Evaporator System CS-VE1
超高真空多元同時スパッタリング装置
スパッタリング&EB蒸着複合型装置
ハイブリッド型(EB&K-Cell)蒸着装置
ハイブリッド型(有機&金属)蒸着装置
真空蒸着用超高真空システム KSPS-01
電気化学UHV装置
スピン偏極陽電子源作製装置
特型極高真空装置
高圧ガスセル内臓真空装置
低温測定用MCBJ(機械的破断接合)装置
インサート型ピエゾ駆動低温MCBJ(機械的破断接合)装置
放電実験用真空装置
電子エネルギー分析システムKCMA-114N
LL/ストッカーチャンバーユニット
サンプルクリーニングユニット
FEM装置電流検出ユニット
FIM装置電流検出ユニット
ファラデーカップ付きMCPユニット
テンションスライド機構
超伝導マグネットXYZR移動ステージ
超伝導マグネット回転ステージ360R
4探針プローブ用XYステージ
6インチ基板対応XYZステージ
冷却ステージ
試料冷却ステージ
試料冷却ヘッド
電気計測用試料台
特型金属蒸着簡易セルKMDS-3ccCell
2元金属蒸着セル
特型低温蒸着セル
特型スパッタ源
特型ロータリープラットホームI KPP-120(Oリング仕様)
反応型TEMホルダー用GASタンク
低温TEMホルダー
加熱TEMホルダー
ファイバー導入型TEMホルダー
φ3.5分離型プローブ
試料加熱コンタクトプローブ
極低温冷媒供給用ロータリージョイント LT-RJ
電子アナライザー
特殊真空搬送チャンバー
分光器接続フランジ
反応槽
2008年度 少量材料検討用有機EL蒸着装置
BeCu-EB蒸着装置
有機EL材料成膜評価装置
有機EL素子作製装置
ナノ薄膜用超高真空精密蒸着装置
VT-STM装置
有機EL薄膜封止用装置
熱フィラメント方式ダイヤモンド合成装置
有機薄膜成膜用装置
減圧乾燥ホットプレート
3D-APチャージセル
レーザー導入型原子分光装置(規格:KLAS-5001)
マルチチャンバー対応型搬送室(規格:KMLL-2007)
電界電離イオンエミッター評価装置
電気伝導特性測定真空槽システム
水素雰囲気試料加熱装置
衝撃観測チャンバー
プラズマCVD装置(規格:KP-CVD2008)
スピンスプレー薄膜作製装置
短尺試験用クライオスタット
スパッタ源(規格:KONYX-3UHV)
銅製ビームチェンバ
超高真空対応ロードロック室(規格:KUHVS-LL)
FIM装置
LHeタンク
強磁場STM用インサート(規格:KSTM-INSERT2007)
プラズマ発生装置
超高真空試作作製チャンバー
FIM冷却ユニット(規格:ヘリウム導入ニップル #NI-HE20)
3元金属蒸着セル(規格:KMDT-Cell)
冷凍機用大型超電導バルク着磁装置
FEM装置ジンバル機構
試料搬送機構
電子エネルギー分析システム(規格:KCMA-114N)
2007年度 電子線ホログラフィー光検出システム
真空加熱付き有機蒸着装置
レーザー補助広角3次元アトムプローブ筐体
電界イオン顕微鏡装置
ドラム式蒸着装置
分子線エピタキシー装置(規格:KSMBE-2007)
UHV-CVD装置
量子ビット配置実験装置
ルツボ焼きだし装置
FEM装置
冷却偏極原子搬送チャンバー(規格:KSC-2007)
電子ビーム蒸着装置
分子線エピタキシー装置移設
マルチチャンバー対応型ロードロック室(規格:KSIM-2007)
ニ軸傾斜高温試料ホルダー(規格:KTWHT-4801)
リフレクトロン装置
XYZステージ(6インチ基板対応)
硫黄処理用真空チャンバー
4端子スピン分極率測定機構
大気圧CVD装置
真空摩擦摩耗試験機
簡易型FEM装置
真空加熱付き有機蒸着装置
低温磁気伝導測定用・試料冷却装置
4インチ対応型蒸着装置 II
冷却試験装置
LEED用試料加熱・冷却ステージ
スピンスプレーフェライトメッキ装置
クライオ・ニードル装置
STM用サンプル加熱ユニット
三次元アトムプローブ装置
STM用低温温度測定ユニット
高速回転マニピュレータ
電子エネルギー分析システム(規格:KCMA-114N)
2006年度 放出ガス採集用岩石破壊セル II型
有機蒸着源用排出ガス処理装置
有機蒸着装置
超精密3軸手動、2軸自動試料ステージ
超精密5軸自動試料ステージ
加熱用TEMホルダー
超伝導磁石低温測定器サンプルホルダー
フィールドエミッション測定装置/KFEM-48型
有機成膜・分析装置
昇降機構付大容量有機セル
簡易OES装置
HFCVD装置
クライオ・ニードル装置
特殊製膜装置
イオン化・チャンバー
リフレクトロン・チャンバー
引張り試験機
4点曲げ試験機 II型
TEM加熱ホルダー
試料加熱ステージ
試料冷却ステージ
試料搬送機構
4inch対応型蒸着装置/KFJ-1800
有機太陽電池成膜装置
4元マグネトロンスパッタリング対応型超高真空装置
TEMホルダー
観測チャンバー
超高真空FIM/TOFMS装置/KFIM-4801
原子トラップ実験用超高真空チャンバー
ヘリウム循環装置
手回し同期発電機'06キット
CVD装置
回転試料ホルダー
スピンスプレーフェライトメッキ装置
高温用ホール効果測定装置/KHE-1000
TEM-STMテストユニット
LHeクライオスタット
超高真空対応レーザー顕微鏡
超高真空対応除振機構付き真空チャンバーシステム/KDP-UHV1
E-GUN蒸着装置/KJST-3000
真空加熱プレス機
TEM試料電気測定ユニット
Ne対応ロータリージョイント/KRJ-31型
FED測定用チャンバー
STM用試料搬送ユニット
高速回転マニピュレーター
PG/PBN加熱ステージ&加熱源
マイクロRHEEDチャンバー
マイクロRHEED用極低温マニピュレーター
レーザー光導入光学窓/KS-AP-LW1
2元マグネトロンスパッタリング装置
光AFM装置
超高真空その場反応解析システム
超高真空対応ロードロック室/KUHVS-LL
スパッタ源/KONYX-3UHV
カーボンナノチューブ成長装置
2005年度 E-GUN蒸着装置
超伝導接合用薄膜堆積装置
低温STM用真空容器
有機デバイス作製・評価装置
製膜装置
太陽電池薄膜加熱装置
OX用MBE装置
有機電子デバイス評価用装置
低温STM装置
電子エネルギー分析システムKCMA-114N
シャトルチャンバー
超精密5軸試料ステージ
電極形成用真空蒸着装置
超高真空蒸着装置
STM/FIM装置
試料搬送チャンバー
小型真空試験機
マルチプローブヘッド
蒸着装置改造
銅製ビームチャンバー
スパッタリング装置
高性能6重管トランスファーチューブ
高性能7重管トランスファーチューブ
E-GUN蒸着装置用高温型加熱ホルダー
EXCHANGER
2次電子検出用チャンバー
超高真空対応ゴニオステージ KXYZ-152
真空デシケーター
加熱ユニット
2004年度 3次元アトムプローブ
4端子クライオスタット
4端子クライオスタット(クライオミニ型)
イオントラップ電極 (36pin)
光電子カウンター ICF-114型
高周波スパッタ装置 KCH-2000
5軸試料ステージ(2軸モーター駆動)
試料搬送機構
多目的搬送機構 KSC-1000
サンプルストック室
サンプル加熱機構 KSTN-1300
Cell Baking System
ターゲット保管容器
対向スパッタリング装置
大気圧 CVD装置
大型LN2デュワー
超高真空チャンバー
超高真空表面構造・ナノ構造研究装置
プローブ作製装置
加熱マニピュレーター
基板搬送室
希釈冷凍機 KLHE-4000SP
低温STM真空装置
電子エネルギー分析器KCMA-YHV203
非線型光学測定用真空装置
連続式スプレーフェライトめっき装置
2003年度 ワイドギャップ微結晶Si:C作製装置
エネルギー補償型3次元アトムプローブ本体
有機・金属複合蒸着装置
有機薄膜パターン観測装置
STM用前処理室
ストレスパターニング装置 KSEM-045
加熱機構付真空装置
極低温電気物性評価装置
薄膜装置改造
E−gun蒸着装置
加熱・冷却マニピュレーター
小型ビーム搬送装置
角型チャンバー
パターン堆積ユニット
加熱機構付マニピュレーター
電子放射分析装置
オージェ電子分光装置
引張り試験器
STM用クライオスタット
サンプル搬送機構
吸収溶液流動試験装置(吸収器)
HW−pチャンバー
線源導入機構
スピンスプレー装置本体
ドライアイス精製実験装置
ロードロックシステム
液体窒素搬送供給調整機構
導電性ポリマー開発実験装置
FTIR装置
ハイブリットサイクル実証実験試験装置
分光器用真空装置
超高真空対応フラットヒーター機構
電界放出測定チャンバー KDH-400
潜熱潜熱熱交換器(030616)
放出ガス採用岩石破壊セル
2002年度 金属ミラー
超高真空用鉄芯電磁石
LN2タンク
超高真空用液体窒素シュラウド
熱伝導クリップ
極低温用落槌感度試験機
ハロゲン測定装置
ミラー駆動機構
MBE装置
蒸着装置
試料加熱・冷却機構
ガス集合装置
白金電極
光検出ファイバーユニット
ナノチューブ作製ユニット
コンタクトプローブ
サファイヤホルダー
タンタル蒸着源
導電性ポリマー開発実験装置
吸脱着速度測定装置
潜熱熱交換器
2001年度 FTIR用IRAS測定真空容器
RHEED試料台冷却用シュラウド
KBR窓差動排気フランジ
フォトマルケース
反射赤外分光装置
微少重力試験装置
CCD冷却ユニット
試料劈閉用電極
水素アトマイザー
腐食試験用試料加熱ホルダー
希釈冷凍機用トランスファーチューブ
膜厚測定装置
電界イオン顕微鏡用試料駆動機構
ワイヤー巻取り機構
加熱試料台
希釈冷凍機ヘリウム配管操作盤
高周波エッチング装置
グリッド架台
BECトラップチャンバー
極低温測定容器
停電対策用バルブシステム
2000年度 ESRその場測定用エッチングチャンバー
量子機能光電子材料作製装置
Tipクリーニング機構
電子銃
材料表面物性解析装置
超音波モーター
表面電子分光装置
超高真空クライオスタット
プラズマCVD装置
3次元形状創成装置
EBプロセス装置
スパッタリング装置
超高真空表面局所解析装置
内部転換電子メスバウアー分光用比例計数管
鉱物粉砕容器
Rb構造解析装置
近接場上光検出装置
冷却原子ビーム生成装置
光ファイバー導入機構
スピンスプレー・フェライトメッキ装置
シャッター付e-gun蒸着源