水冷付きホットステージHot Stage with Water-cooled

水冷付きホットステージ

本製品は真空チャンバー内にて試料加熱を行う機構となります。
Kタイプ熱電対を導入している為、広域での測温が可能です。
また、ステージには熱伝導率に優れている無酸素銅材を用いており、より短時間での加熱が可能な上、ステージ内部には水冷配管を施している為、短時間での降温も可能となります。
最小接続フランジはICF-70となっており、極めて小型な真空チャンバーでもご使用頂けます。