試料搬送装置KSC-1000/Sample Carrying System
KSC-1000/Sample Carrying System
本製品、試料搬送装置(Sample Carrying System:KSC-1000)は試料導入室を兼ね備えた搬送装置です。
複数の真空システム間において超高真空領域を保ったまま試料搬送が行え、将来的に真空システムの増設・拡張が容易です。
また標準で6連の試料搬送キャリアを備え試料ストッカーとしても最適で付属の過熱機構にて試料表面のクリーニングが可能です。
キャリア
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サンプル加熱機構
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※御客様の仕様に合わせた設計製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせください。
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