真空加熱プレス機
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装置外観
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加熱プレスステージ部
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本真空プレス機は、試料張り合わせ時のムラや、片締め等の不均一性を排除し作業性の効率を向上させると共に作業者に技術的な経験・スキルを必要としない、簡便であり再現性の良い試料の張り合わせ作業が実現する。
また従来の張り合わせ手法では測定値幅は10.0μm以上あり1/10の張り合わせ精度が向上する。
- 真空加熱プレス機本体（カートリッジ・ヒーター：AC120V/150W * 2本・300W）
- KIKUSUI社製 AC電源：PCR-500M（AC1-270V.5A）500VA
- CHINO社製 温調器：KP-1000
| 2-1. |
エアー・シリンダー圧力（標準：2.5kg/cm2）で試料をプレス |
| 2-2. |
昇温 室温〜350℃/5min MAX600℃ |
| 2-3. |
常用 350℃ |
| 2-4. |
降温 （自然冷却：350℃〜120℃/30〜40min） |
| 試験方法 ： |
試料の四隅と中心の合計5箇所を測定する。 |
| 試料A ： |
5箇所測定値、最大値―最小値＝1.5μm（±0.75μm） |
| 試料B ： |
5箇所測定値、最大値―最小値＝1.7μm（±0.85μm） |
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* 従来の手法では測定値幅は10.0μm≦ |
| 使用設備 ： |
NIKON社製、Digital Stand MC-11C ＆ Digital Read TC-101 （最小計測制度：10nm） |
| * 特許番号5196795号 「真空加熱プレス機」 |
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