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| フランジ面間距離 | 60mm |
|---|---|
| 有効内径 | φ64mm |
| 超高真空フランジ対応 | ICF114FT |
| 回転角度 | 360°連続回転 |
| 駆動方式 | ステッピングモータ駆動 |
| モータ分解能 | 0.000048°(H50), 0.000024°（H100） |
| 差動排気部 | ICF34FT（1段） |
| 回転振れ量 | アキシャル方向：2.5μm以下、ラジアル方向：2.5μm以下 |
| 基本定格荷重（ラジアル） | 動的C=23kN、静的C0=36kN |
| エンコーダー分解能* | 26bit (360°/226=0.0000054°) |
| 重量 | 約6kg |
| リーク量 | 1x10-10 Pa m³/sec以下 |
| モーター及び角度読取取付位置 | 22.5°毎に取付位置変更可能 |
【オプション】BiSS C-USB インタフェース（角度取り込み用ソフトウエア付）
高性能中空型ロータリーステージ iRS152
本製品は真空内において高い位置再現性、高い剛性とともに超高精度な回転制御を必要とする高性能中空型ロータリーステージです。ロータリーステージに最適化した取付穴付加工を施した高剛性・高精度ベアリングを開発しました。取付用穴加工が施されているため、おさえフランジ・ハウジングが不要になり転動体サイズの大型化、すなわち装置の高剛性化を可能にしました。また、座付で内外輪一体形構造のため、組み付けによる性能への影響がほとんど無く、安定した回転精度・トルクを得られます。更に、高精度絶対角度位置決め用エンコーダーを組込むことにより、超高精度な絶対角度位置決め制御を実現しました。
- ロータリーステージに最適化した高剛性・高精度な取付穴付ベアリングを開発
- 絶対角度位置決め用エンコーダーにより、原点位置検出不要角度制御の高信頼性及び超高精度な回転制御を実現
・読取分解能：~0.0000054° (~0.019”)
・設定分解能：0.00003° (0.108”) - 高剛性化（ラジアル方向の基本定格荷重C=27.3kN, C0=51kN）
- 高位置再現性（ベアリングのラジアルおよびアキシャル振れ2.5μm以下）
- 360°連続回転
- 1段差動排気により、超高真空での使用可能
- 小型インタフェース(オプション）から直接PCへデータ読取可能（USB2.0）
設定角後に回転後の設定角とエンコーダーの読み角との差の経時変化（下左図）。ステッピングモータによるフィードバック補正が有る場合と無い場合。フィードバック補正がある場合の誤差の拡大図（下右図）。
| フランジ面間距離 | 70mm |
|---|---|
| 有効内径 | φ102mm |
| 超高真空フランジ対応 | ICF152FT |
| 回転角度 | 360°連続回転 |
| 駆動方式 | ステッピングモータ駆動 |
| 回転分解能 | 0.00003° |
| 差動排気部 | ICF34FT（1段） |
| 回転振れ量 | アキシャル方向：2.5μm以下、ラジアル方向：2.5μm以下 |
| 基本定格荷重（ラジアル） | 動的C=27.3kN、静的C0=51kN |
| エンコーダー分解能* | 26bit/rev. (360°/226=0.0000054°) |
| 重量 | 約11kg |
| リーク量 | 1x10-10 Pa m³/sec以下 |
| モーター及び角度読取取付位置 | 22.5°毎に取付位置変更可能 |
【オプション】BiSS C-USB インタフェース（角度取り込み用ソフトウエア付）