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XYステージ　ICF152タイプ

XYステージ　ICF152タイプ　KXY-152

概要
  • 中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージとなります。
  • 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。
  • 有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを有効に使用できます。
  • これまでラインナップとしていなかったICF152タイプを規格化致しました。
XYステージ　ICF152タイプ
特徴
  • マイクロメーターの移動量は±12.5mmとなります。
  • 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用が可能となります。
  • 本体上部にM8のネジ穴が4箇所あり、アイボルトを取り付けることで容易に吊り具との接続が可能です。
  • 他の直線導入機と組み合わせる事で、搬送ラインの調整を容易に行うことが可能です。
  • オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。
寸法図
寸法図
イメージ図
イメージ図
仕様 Specification
X軸移動量 ±12.5mm
Y軸移動量 ±12.5mm
X軸位置決め精度 2µm
Y軸位置決め精度 2µm
許容リーク量 1.3×10-10Pa・m³/sec
許容加熱温度 ≦200℃
接続フランジ 上部 ICF152-FT
接続フランジ 下部 ICF152-FH
有効内径 Φ100mm
面間距離 215mm（変更可能）
販売価格 ¥1,800,000
納期 2ヶ月
※1　各仕様は変更が可能です。お問い合わせください。
※2　使用機器等により仕様が異なる場合がございます。ご注意ください。
※3　本書に記載の製品、仕様は改良などのため予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。
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