真空用分光測定ユニット
- お手持ちの分光器のプローブを取付けることで、真空内に置いた試料の分光測定をガラス窓を通して行うことが出来ます。(プローブ形状に合わせて個別に設計を行います。)
- 焦点位置の調整はマイクロメータにより、観察位置の移動は移動用ノブにより可能です。
- 先端部にはレンズチルト機構を備え、ビームの入射角を調節できます。
- パイプ内にGBB処理を施すことで、反射による悪影響を防止します。
- 測定に使用する波長に合わせて、窓材質を選択することが可能です。
- 先端部長さ等の寸法カスタマイズについても、柔軟に対応致します。
- 既存の真空チャンバーへの取り付けも容易です。
他の装置との組み合わせにより、例えば前処理を行った試料を大気中に取り出すことなく分光測定を行う、といった使い方が可能になります。
先端部の導入に必要な最小径 |
Φ38 ※1 |
最小取付フランジ |
ICF70 |
Z軸(前後方向)ストローク |
標準30mm |
Z軸(前後方向)移動分解能 |
0.002mm |
X軸(またはY軸)ストローク |
±3mm |
ガラス窓材質 |
ホウケイ酸ガラス、合成石英ガラス、サファイアガラス 他 |
Heリークレート |
1.3×10-9Pa・m³/sec以下 |
※1 X・Y方向へのストロークを確保する場合は、必要な径が大きくなります。
※2 各仕様は変更が可能です。お問い合わせください。
※3 使用機器等により仕様が異なる場合がございます。ご注意ください。
※4 本書に記載の製品、仕様は改良などのため予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。
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