フリーマウント式有機蒸着源｜北野精機

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フリーマウント式有機蒸着源

フリーマウント式有機蒸着源　KFOD-1

本製品は低温蒸発材料用の簡易蒸着源です。
るつぼに材料を充填し、フィラメントヒーターにより加熱いたします。
るつぼ（蒸着）向きの調整が可能なため、取付方向を選びません。
小型で簡易な設計のため、研究開発用途に最適です。

フリーマウント式有機蒸着源

小型で単純な形状のため、取り扱いが簡単です。
蒸着向きが調整できるので既存の装置にも試料に向けて取付ができます。
ねじ1本で蒸着方向を固定/解除できますので、調整が簡単です。
短時間での加熱、温度安定性にすぐれています。
お手持ちの直流安定化電源で簡単に動作できます。

寸法図

寸法図

るつぼ温度

るつぼ温度[℃]

導入径	Φ36
導入フランジサイズ	最小：ICF070
真空内長さ	60mm～（選択可）
導入向き	上向き～水平（任意）
蒸着向き	0°～90°
るつぼ材質	アルミナ
るつぼ容量	0.3cc
フィラメント材質	タンタル
熱電対	K型
推奨使用温度	～350℃（熱電対周辺）
温度安定性	±2.5℃
消費電力	2.6A / 7.5W（350℃:るつぼ温度）

※1　各仕様は変更が可能です。お問い合わせください。
※2　使用機器等により仕様が異なる場合がございます。ご注意ください。
※3　本書に記載の製品、仕様は改良などのため予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。