フリーマウント式金属蒸着源｜北野精機

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フリーマウント式金属蒸着源

フリーマウント式金属蒸着源　KFMD-1

本ユニットは、簡易蒸着源です。
ボートに材料を充填し、通電加熱により蒸着を致します。
ボート（蒸着）向きの調整が可能なため、取付方向を選ばず、既存の装置への増設に対応可能です。
小型で簡易な設計のため、研究開発用途に最適です。

フリーマウント式金属蒸着源

取り付けフランジがICF070のコンパクトな蒸着源です。
ボートタイプですので取扱が容易です。またメンテナンスフリーです。
本製品は特殊な機構により蒸着源部の角度を調整することが可能です。
熱輻射シールドなどを設置することで基板や真空槽内部へのダメージを軽減することができます。
アパーチャーを蒸着源部に設置することで定めた位置への蒸着ができます。
また真空槽内部の汚染防止ができます。

寸法図

寸法図

イメージ図

イメージ図

導入径	Φ37
導入フランジサイズ	最小：ICF070
真空内長さ	150mm～（選択可）
導入向き	上向き～水平（任意）
蒸着向き	0°～90°
ボート材質	Ta・Mo・W
ボート容量	0.5cc
最大ボート温度	Ta（Max1400℃）・Mo（Max1200℃）
蒸着材料	LiF・MｏO₃・In
消費電力	60A / 600W

※1　各仕様は変更が可能です。お問い合わせください。
※2　使用機器等により仕様が異なる場合がございます。ご注意ください。
※3　本書に記載の製品、仕様は改良などのため予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。
※4　御希望の蒸着材料が御座いましたら、社内デモ機にてテストを行います。