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  取付フランジ側
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| 見積もり | |
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| 超高真空対応小型電子ビーム蒸着源｜KME-70 | |
KME-70は単原子層薄膜作成用に設計された、小型の簡易型蒸着源です。ロッド状材料もしくはルツボに導入した材料を電子ビームで加熱するため、高融点材料の蒸着が可能です。シンプルな設計となっており、研究開発用途に最適な製品です。
- シンプルな設計で簡便性を重視
- フラックスレートモニタリング用電極付
- 手動式シャッター機構を標準装備
- ロッド状材料とルツボのどちらも設置可能
- 材料は移動機構機構により位置調整が可能
| 取付フランジ | ICF-70 |
|---|---|
| 試料印加電圧 | 1.5kV〜2kV（標準） |
| 蒸着可能な材料例 | Fe, Co, Ni, Nb, Pt |
| 材料移動調整距離 | 25mm |
| ベーキング温度 | 200℃ |
| シャッター駆動 | 回転（手動） |
| T-S間距離 | 150mm（標準） |
| 参考蒸着レート | 0.5Å/s 溶融材料用ルツボ（オプション） |
| 試料 | フィラメント印加電源（オプション） イオン電流測定用電流計（オプション） |
