2019年度	【装置/System】 高温スピンスプレー薄膜作製装置 温度調節機能付き小型真空チャンバー装置　他
	【機器/機構など】 ベースフランジ&基板回転機構 ベースフランジ&基板回転機構10点切替 可動式ビームフラックスモニター LL室付RFスパッタ装置プラットフォーム ビームフラックスモニター 試料冷却機構　他
	【TEM用試料ホルダー等】 真空封止型試料温度調節TEMホルダー 電圧印加TEMホルダー用LED取付治具 XRD雰囲気加熱ホルダー　他
	【UHVチャンバー等】 STM chamber MBE chamber Load lock chamber Function chamber Annealing chamber 低真空容器　他
	【セル・るつぼ等】 金属蒸着セル　KMD-Cell 有機蒸着セル　KOD-Cell 有機蒸着セル用るつぼ
	【修理改造・保守・メンテナンス等】 真空蒸着装置全自動化ソフトウェア改造 クライオポンプ・オーバーホール 有機ELデバイス製造装置移設作業 真空装置移設作業 真空装置撤去廃棄作業 真空加熱脱ガス処理サービス

2018年度	【装置/System】 塗布型有機EL素子作製装置 超高真空スパッタ装置（カソード２台） 有機デバイス製作用蒸着装置の全自動化 有機材料開発装置ストッカー室増設　他
	【機器/機構等】 超高真空スパッタ装置用カソードユニット 2KW 3連E型電子銃（φ300用） 試料加熱ステージ O-MBE chamber unit 特型金属蒸着セル（坩堝式） 特型金属蒸着セル（ボート式）　他
	【TEM用試料ホルダー等】 有機デバイス観察用TEMホルダー TEMホルダー用SEMアダプター 差動排気ガス加熱試料ホルダー　他
	【UHVチャンバー等】 真空チャンバー 電子放出用超高真空槽 有機チャンバー用防着板 光STM用超高真空チャンバー 特型ベルジャー 真空加熱脱ガス処理 PLD用球面チャンバー 冷却・加熱反応容器 Cold shield Main chamber Exchange chamber Load lock chamber MBE chamber STM chamber　他
	【セル・るつぼ等】 超高真空スパッタ装置用カソードユニット 金属蒸着セル　KMD-Cell 金属蒸着セル　るつぼ式 金属蒸着セル　ボート式 有機蒸着セル　KOD-Cell 有機蒸着セル用るつぼ
	【修理改造・保守・メンテナンス等】 排気ライン・オーバーホール クライオポンプ・オーバーホール 分析室増設 ガス供給系増設工事 有機蒸着室 蒸着源増設

2017年度	【装置/System】 有機ELデバイス製作用全自動蒸着装置 電解イオン顕微鏡装置（FIM3号機） 電解イオン顕微鏡装置（FIM装置） スピンスプレーフェライトメッキ装置　他
	【機器/機構等】 蒸着装置ドーピング機構 冷却用XRD試料セル（クライオスタット） ハーフスケール発電機 フラックスモニター コールドトラップ　他
	【TEM用試料ホルダー等】 その場観察用試料ホルダー 冷却局所測温TEMホルダー 冷却・傾斜型TEMホルダー 磁区SEM用張力印加ホルダー 発光分析TEMホルダー 高温変形接合TEMホルダー　KTH-01 AFM用ホルダー　KAFMH-01 集束イオン/電子ビーム加工観察装置用冷却試料ホルダー　他
	【UHVチャンバー等】 大型チャンバー 分子蒸着チャンバー　KMDC-01 Load lock unit 真空チャンバ　58-215-002 STM用UHVチャンバーKSTMC-01 反応容器２号機　KRC-2016 純水タンク ズームインレンズ(VH-100R)用チャンバー KLC-100 横型シュラウド付きチャンバー 縦型シュラウド付きチャンバー　他
	【セル・るつぼ等】 金属蒸着セル　KMD-Cell 金属蒸着セル　るつぼ式 金属蒸着セル　ボート式 有機蒸着セル　KOD-Cell 有機蒸着セル用るつぼ
	【修理改造・保守・メンテナンス等】 クライオポンプ・オーバーホール 真空装置移設作業 真空装置撤去廃棄作業 真空加熱脱ガス処理サービス

2016年度	【装置/System】 有機ELデバイス作成装置１号機：OLED-K1 有機ELデバイス作成装置２号機：OLED-K2 特型CRYOシステム　KCRYO-01 液中薄膜コーティング装置　KEHC-01 表面イオン化器３号機　KSI-III ポテンショメータ電圧検出機能付モーター制御装置
	【機器/機構など】 帯電防止用電子銃　FS40A1 真空用小型Zθステージ　KSZθ-01 多機能性ホルダー　KMFH-01 有機光電変換膜成膜装置搬送機構 有機蒸着セル用シャッター板 中空回転導入機構 検出器用超高真空チャンバー専用排気ユニット ステージコントローラー
	【TEM用試料ホルダー】 大気非暴露型電気計測TEMホルダー ペルチェ温度調整TEMホルダー ２軸高温引張り試験用TEMホルダー 標準TEMホルダー　KTEMH-01 イオンクリーナー用TEMグリッド加熱ホルダー 引張り試験用TEMホルダー改造
	【UHVチャンバー】 MBE Chamber STM Chamber XPS試料導入室(ロードロック室) 反応容器　KRC-2015 観察用チャンバー
	【セル・るつぼ等】 小型CLBO温調セル フリーマウント式金属蒸着源　KFMD-1
	【修理改造・保守・メンテナンス等】 クライオポンプ・オーバーホール ベルジャー式蒸着装置無害化処理 ドライポンプオーバーホール 有機ELデバイス作成装置改造 セルシャッター交換修理 有機ELデバイス作成装置移設作業 STM装置移設作業費 有機材料開発用成膜装置・移設作業

2015年度	【装置/System】 イオンエッチング装置　KIES-01 ガス分析用装置　KGA-System MBE装置 中性化効率測定装置 OPV用蒸着装置 小型オージェ電子分光システム
	【機器/機構など】 超高真空対応基板加熱用ユニット　KUHV-SH 試料冷却ステージ付き４軸マニピュレーター　KSCM-04 XPS用パーマイロシールド　KXPS-S01 液体中測定用MCBJユニット　KMCBJ-03 H2Oトラップ冷却機構 質量分析システム用一価イオン源 試料ステージω軸指定部 モーター駆動型セミ・マニピュレーター 検出器位置移動用X-Yトランスファーステージ 試料測定用加熱ステージ 放電ユニット 質量分析用真空排気系 Niベース
	【極低温機器】 LHeトランスファーチューブ LN2冷却プローブユニット 試料冷却ヘッド
	【TEM用試料ホルダー】 真空封止冷却TEMホルダー
	【UHVチャンバー】 基幹チャンバー 極高真空チャンバー
	【セル・るつぼ等】 触媒反応その場XRD観察用試料セル　KBW-XRDSC 金属蒸着セル　KMD-Cell 有機蒸着セル 有機蒸着セル用るつぼ
	【修理改造・保守・メンテナンス等】 ガリウムヒ素成長用分子線エピタキシー装置無害化処理作業 真空蒸着装置ソフトウェア全自動化 有機ELデバイス製造装置ソフトウェア英語化 有機蒸着セル保守 クライオポンプ・オーバーホール レーザースパッタ装置メンテナンス MBE装置移設作業 有機ELデバイス製造装置移設作業 真空装置移設作業 真空加熱脱ガス処理サービス

2014年度	【装置/System】 OLED Deposition Machine <TYPE-A1> OLED Deposition Machine <TYPE-A2> Special Load Lock System 試料冷却システム　KSCS-01 Movement of Vaccum System 液中析出装置　TLE-01 電極コーティング装置　KECE-01 PYS-IPES複合装置 搬送機構付きロート゛ロックシステム　KLL-316L-TR SEM導入用摩擦試験機 ホルダー駆動システム
	【機器・機構など】 ターゲット加熱機構 MCBJユニット　MCBJ-02 多極端子導入ユニット 有機膜蒸着源の自動制御化 超電導搭載駆動用ベローズ及び調整機構 真空対応軟X線用超小型4象限スリット 低速陽電子ビームパルスストレッチセクション 試料加熱＆冷却ステージ ビームフラックスモニター 極低温用温度コントローラー アジャスティングコイル設置フレーム　KACF-01 架台・排気ユニット用環境制御ガス供給ユニット Be窓付き短管 試料クリーニング用電子銃 スパッタ装置用加熱式マニピュレーター MCP用マニピュレーター
	【極低温機器】 超高真空対応クライオスタット用試料交換システム MRI用He凝縮器 改造HCS用トランスファーチューブ 4K対応型クライオヘッド　KCH4K-2013 コールドトラップ3号機 HCS用コールドチャンバー MRI用実験コールドチャンバー
	【TEM用試料ホルダー】 有機デバイス観察用TEMホルダー KOD-TEM01 二軸荷重負荷TEMホルダー　KLIIT-01 極低温型TEMホルダー 電流―電圧測定用TEMホルダー 一軸傾斜ガス加熱試料TEMホルダー 大気遮断ホルダー用ピエゾ駆動2連探針電子顕微鏡ホルダー芯軸
	【UHVチャンバー】 超高真空チャンバー 有機蒸着基板搬送用真空チャンバー ロードロック真空槽 RT-STMChamber 試料チャンバー 超高真空チャンバー　KUHVC-316
	【セル・るつぼ等】 セル真空保管容器（SUS316L） セル脱ガスチャンバー セル脱ガス用LN2シュラウド 非線形結晶小型温調セル 搭載用小型CLBO温調セル 実験用サンプルセル(II) 固体レーザベース用CLBO小型温調セル Crucible of KOD-Cell タングステンルツボ 蒸着セル用ルツボ プラズマセル 防着マスク

2013年度	アルミ蒸着システム イオン源チャンバー　KION-01 簡易有機蒸着装置 5軸自動試料ステージ 低融点材料蒸着システム　KLTDS-5501 極低温用ロータリージョイント 試料加熱チャンバー 軟X線回析装置用3軸ステージ VACチルト機構 試料傾斜機構 ピエゾ回転ステージ モニターシステム 長時間加熱蒸発源 真空封止型TEMホルダー 有機デバイス観察用TEMホルダー 真空チャンバー バックグラウンド低減型放射光X線構造解析用試料冷却機構装置 有機EL作製装置用グローブボックス 塗布材料評価装置 低温トラップ式ガス捕集/分析装置 低温トラップ式ガス捕集/分析装置用高速シャッター TEMホルダー保管用グローブボックス LH2トランスファーチューブ
	銀薄膜堆積用マグネトロンスパッタ装置 極低温MCBJ装置 超高真空基板搬送システム ピエゾ駆動探針ホルダー芯軸 MCD／低温伝導測定用ホルダー 160ポート多岐管 光学チャンバー 特型極高真空チャンバー 特殊2軸型回転導入機 EB蒸着装置 2室式真空チューブ炉真空バルブ ガス分析装置 STMユニット 超伝導マグネット
	有機EL蒸着機 熱CVD装置 MBE装置 スピンスプレー・フェライトメッキ装置 中性化器3号機 放射光パルス磁場中XMCD測定用試料マニピュレーションシステム 超高真空層および超低温走査型プローブ顕微鏡システム XPS装置用超高真空システム MBE／スパッタシステム 真空封止型搬送用TEMホルダー 環境制御試料TEMホルダー 大気遮断ホルダー用資料冷却ホルダー芯軸 真空封止型試料搬送機構(TEM/FIB) 昇温脱離機構 試料冷却ヘキ開機構 摩擦試験機導入ユニット 超高真空用極低温用小型冷凍機 真空断熱部材 熱電子電流測定装置圧力コントローラー(II) 前処理室用マニピュレーター 超高真空トンネルチャンバー E-Gunチャンバー 高分解能RBSチャンバー ERDA用チャンバー スパッタリング・チャンバー XPS用チャンバー STMチャンバー 収束イオンビーム装備型回析顕微鏡検出鏡筒 リークディテクター（アルバック・ファイ社製品） クライオポンプ・オーバーホール（アイシン精機社製）

2012年度

酸化処理用装置 磁気伝導測定用架台システム 有機材料成膜評価装置 特型有機素子作成装置 パッシブ型有機EL試作装置 金属蒸着セル用特殊ルツボ 有機薄膜成長システム 特型有機蒸着セル・電源 金属蒸着セル・直流電源 高真空コンタクトプローブ装置 試料冷却・へき開機構 特殊低温スパッタ装置FP-21 特型スパッタリング装置 スパッタ装置防音対策パネル 冷却クラスター源／クラスター薄膜生成装置 大型HF-CVD装置 ビームモニター&標的搬送機構 ビームフラックスモニター 大気遮断ホルダー 熱電子電流測定システム MCBJ装置 真空計校正装置 静電容量式露点計 磁場対応超高真空STM装置 除振機能付きSTM装置 STM搬送室 LT-STM用クライオスタット クライオスタット マグネット冷却デュワー 超高真空用極低温小型冷凍機 試料搬送機構　KSCS-01 高電圧導入ベルジャー装置 高電圧マニピュレーター 傾斜膜用シャッター機構 反応ガス2種導入TEMホルダー 測定・保管デシケーター 5軸自動試料ステージ 検出器交換システム及び試料ホルダー交換システム 真空対応軟X線4象限スリット 光軸確認システム 特型真空排気装置 二軸傾斜ガス加熱TEMホルダー 試料マニピュレーターシステム 試料測定用マニピュレーター・試料加熱機構 軟X線2軸回析計用チェンバー及びステージ 斜入射基板回転加熱装置 共鳴散乱回析：顕微鏡カメラ導入機構 XFEL回析イメージング装置3軸運動導入機構 高精度標的移動ステージ ω・2θステージ ロードロックシステム 溶液XAFS用チャンバー CCD固定用架台 入射ゲートバルブ 特殊電子線ホログラフィー光検出システム 熱カバーシールド アトムプローブ 圧力容器 イオン銃チャンバー

2011年度	2Kvスパッタイオン銃 電子エネルギー分析システム 中性原子ビーム装置 探針先端観察装置 ４元スパッタチャンバー ４元スパッタ・試料交換室 共鳴軟Ｘ線回析装置内部τｓステージ 溶液反応用TEMホルダー ガス及び光導入機構付TEMホルダー その場観察用TEMホルダー クライオスタット用XYZステージ アッテネーターシステム ポジトロニウム負イオン測定チャンバー FE特性測定装置 小角散乱XYZステージ自動化 多重管トランスファーチューブ ヘリウム冷凍チャンバー 単結晶育成装置 試料加熱・冷却ステージ 有機材料蒸着源 KC-FPトラップ装置 有機EL作製装置 超高真空ツインRFスパッタ成膜装置 金属蒸着セル イオントラップ装置 プローブ用モーター付上下機構 インライン素子用グローブボックス 凍結乾燥機 超高真空用極低温小型冷凍機 試料ステージ（5軸自動） プラズマ発生装置

2010年度	LT-PFM装置 Rbオーブン STM装置用除振システム 高感度電子線観察装置 有機EL用高速成膜装置 超高真空RFスパッター蒸着装置 凍結乾燥装置 微少重力試験機 有機薄膜簡易蒸着装置 OTFS R&D System 冷却基盤ビーム曝露システム 簡易型蒸着装置 小型三次元加工機MF-150A/HP （CANON電子社製） 小型電動射出成形機LS300i インサート機（CANON電子社製） UHV蒸着チャンバー＆基板加熱機構 電子エネルギー分析システムKCMA-2009 簡易型FIM装置 超高真空極低温小型冷凍機付FIMシステム
	加熱機構付TEMホルダー 蒸着機構付TEMホルダー 電気測定TEMホルダー ガス反応型TEMホルダー
	X線測定用チャンバー ペルチェ素子測定用チャンバー＆ブロック 四重極電極用角チャンバー 粒状体熱特性測定用チャンバー Heデュワー用チャンバー
	LHeタンク クライオヘッド ラディエーションシールド 回転上下機構付き試料冷却ヘッド LHeトランスファーチューブ 極低温冷媒用ロータリージョイント
	有機素子搬送用ボックス（16枚用） 有機素子密閉容器
	3D-AP振動対策ユニット 磁気シールユニット VUV光源接続ユニット エッチング制御機構 試料搬送ユニット 試料冷却ユニット 水銀加熱気化ユニット 熱交換器ユニット 熱電子電流測定ユニット 発光測定用絶縁ステージ 反応室圧力測定ユニット
	可動型有機蒸着源 水平突出蒸着源 高温蒸着源
	4分割偏向電極 RF-CVDアノード電極 四重極電極
	軟X線用フィルム窓 炉内観測窓
	LT-STM用通電加熱ホルダー X線用高圧セル スピン偏極陽電子線源カプセル 磁場印加サンプルホルダー 等

2009年度	有機材料成膜装置 電子デバイス評価装置 電子デバイス作製装置 全自動材料成膜評価装置 有機EL成膜装置改造（他社製実験システム） 高効率成膜装置 Evaporator System CS-VE1 超高真空多元同時スパッタリング装置 スパッタリング＆EB蒸着複合型装置 ハイブリッド型（EB＆K-Cell）蒸着装置 ハイブリッド型（有機＆金属）蒸着装置 真空蒸着用超高真空システム KSPS-01 電気化学UHV装置 スピン偏極陽電子源作製装置 特型極高真空装置 高圧ガスセル内臓真空装置 低温測定用MCBJ（機械的破断接合）装置 インサート型ピエゾ駆動低温MCBJ（機械的破断接合）装置 放電実験用真空装置 電子エネルギー分析システムKCMA-114N
	LL／ストッカーチャンバーユニット サンプルクリーニングユニット FEM装置電流検出ユニット FIM装置電流検出ユニット ファラデーカップ付きMCPユニット テンションスライド機構
	超伝導マグネットXYZR移動ステージ 超伝導マグネット回転ステージ360R 4探針プローブ用XYステージ 6インチ基板対応XYZステージ 冷却ステージ 試料冷却ステージ 試料冷却ヘッド 電気計測用試料台
	特型金属蒸着簡易セルKMDS-3ccCell 2元金属蒸着セル 特型低温蒸着セル 特型スパッタ源
	特型ロータリープラットホームI　KPP-120（Oリング仕様） 反応型TEMホルダー用GASタンク 低温TEMホルダー 加熱TEMホルダー ファイバー導入型TEMホルダー φ3.5分離型プローブ 試料加熱コンタクトプローブ
	極低温冷媒供給用ロータリージョイント LT-RJ 電子アナライザー 特殊真空搬送チャンバー 分光器接続フランジ 反応槽 他

2008年度

少量材料検討用有機EL蒸着装置 BeCu-EB蒸着装置 有機EL材料成膜評価装置 有機EL素子作製装置 ナノ薄膜用超高真空精密蒸着装置 VT-STM装置 有機EL薄膜封止用装置 熱フィラメント方式ダイヤモンド合成装置 有機薄膜成膜用装置 減圧乾燥ホットプレート 3D-APチャージセル レーザー導入型原子分光装置（規格：KLAS-5001） マルチチャンバー対応型搬送室（規格：KMLL-2007） 電界電離イオンエミッター評価装置 電気伝導特性測定真空槽システム 水素雰囲気試料加熱装置 衝撃観測チャンバー プラズマCVD装置（規格：KP-CVD2008） スピンスプレー薄膜作製装置 短尺試験用クライオスタット スパッタ源（規格：KONYX-3UHV） 銅製ビームチェンバ 超高真空対応ロードロック室（規格：KUHVS-LL） FIM装置 LHeタンク 強磁場STM用インサート（規格：KSTM-INSERT2007） プラズマ発生装置 超高真空試作作製チャンバー FIM冷却ユニット（規格：ヘリウム導入ニップル #NI-HE20） 3元金属蒸着セル（規格：KMDT-Cell） 冷凍機用大型超電導バルク着磁装置 FEM装置ジンバル機構 試料搬送機構 電子エネルギー分析システム（規格：KCMA-114N） 他

2007年度

電子線ホログラフィー光検出システム 真空加熱付き有機蒸着装置 レーザー補助広角3次元アトムプローブ筐体 電界イオン顕微鏡装置 ドラム式蒸着装置 分子線エピタキシー装置（規格：KSMBE-2007） UHV-CVD装置 量子ビット配置実験装置 ルツボ焼きだし装置 FEM装置 冷却偏極原子搬送チャンバー（規格：KSC-2007） 電子ビーム蒸着装置 分子線エピタキシー装置移設 マルチチャンバー対応型ロードロック室（規格：KSIM-2007） ニ軸傾斜高温試料ホルダー（規格：KTWHT-4801） リフレクトロン装置 XYZステージ（6インチ基板対応） 硫黄処理用真空チャンバー 4端子スピン分極率測定機構 大気圧CVD装置 真空摩擦摩耗試験機 簡易型FEM装置 真空加熱付き有機蒸着装置 低温磁気伝導測定用・試料冷却装置 4インチ対応型蒸着装置 II 冷却試験装置 LEED用試料加熱・冷却ステージ スピンスプレーフェライトメッキ装置 クライオ・ニードル装置 STM用サンプル加熱ユニット 三次元アトムプローブ装置 STM用低温温度測定ユニット 高速回転マニピュレータ 電子エネルギー分析システム（規格：KCMA-114N） 他

2006年度

放出ガス採集用岩石破壊セル II型 有機蒸着源用排出ガス処理装置 有機蒸着装置 超精密3軸手動、2軸自動試料ステージ 超精密5軸自動試料ステージ 加熱用TEMホルダー 超伝導磁石低温測定器サンプルホルダー フィールドエミッション測定装置/KFEM-48型 有機成膜・分析装置 昇降機構付大容量有機セル 簡易OES装置 HFCVD装置 クライオ・ニードル装置 特殊製膜装置 イオン化・チャンバー リフレクトロン・チャンバー 引張り試験機 4点曲げ試験機 II型 TEM加熱ホルダー 試料加熱ステージ 試料冷却ステージ 試料搬送機構 4inch対応型蒸着装置/KFJ-1800 有機太陽電池成膜装置 4元マグネトロンスパッタリング対応型超高真空装置 ＴＥＭホルダー 観測チャンバー 超高真空FIM/TOFMS装置/KFIM-4801 原子トラップ実験用超高真空チャンバー ヘリウム循環装置 手回し同期発電機'06キット CVD装置 回転試料ホルダー スピンスプレーフェライトメッキ装置 高温用ホール効果測定装置/KHE-1000 TEM-STMテストユニット LHeクライオスタット 超高真空対応レーザー顕微鏡 超高真空対応除振機構付き真空チャンバーシステム/KDP-UHV1 E-GUN蒸着装置/KJST-3000 真空加熱プレス機 TEM試料電気測定ユニット Ne対応ロータリージョイント/KRJ-31型 FED測定用チャンバー STM用試料搬送ユニット 高速回転マニピュレーター PG/PBN加熱ステージ&加熱源 マイクロRHEEDチャンバー マイクロRHEED用極低温マニピュレーター レーザー光導入光学窓/KS-AP-LW1 2元マグネトロンスパッタリング装置 光AFM装置 超高真空その場反応解析システム 超高真空対応ロードロック室/KUHVS-LL スパッタ源/KONYX-3UHV カーボンナノチューブ成長装置 他

2005年度	E-GUN蒸着装置 超伝導接合用薄膜堆積装置 低温STM用真空容器 有機デバイス作製・評価装置 製膜装置 太陽電池薄膜加熱装置 OX用MBE装置 有機電子デバイス評価用装置 低温STM装置 電子エネルギー分析システムKCMA-114N シャトルチャンバー 超精密5軸試料ステージ 電極形成用真空蒸着装置 超高真空蒸着装置 STM/FIM装置 試料搬送チャンバー 小型真空試験機 マルチプローブヘッド 蒸着装置改造 銅製ビームチャンバー スパッタリング装置 高性能6重管トランスファーチューブ 高性能7重管トランスファーチューブ E-GUN蒸着装置用高温型加熱ホルダー EXCHANGER 2次電子検出用チャンバー 超高真空対応ゴニオステージ　KXYZ-152 真空デシケーター 加熱ユニット 他

2004年度	3次元アトムプローブ 4端子クライオスタット 4端子クライオスタット（クライオミニ型） イオントラップ電極　(36pin） 光電子カウンター　ICF-114型 高周波スパッタ装置　KCH-2000 5軸試料ステージ(2軸モーター駆動） 試料搬送機構 多目的搬送機構　KSC-1000 サンプルストック室 サンプル加熱機構　KSTN-1300 Cell　Baking　System ターゲット保管容器 対向スパッタリング装置 大気圧 CVD装置 大型ＬＮ2デュワー 超高真空チャンバー 超高真空表面構造・ナノ構造研究装置 プローブ作製装置 加熱マニピュレーター 基板搬送室 希釈冷凍機　KLHE-4000SP 低温STM真空装置 電子エネルギー分析器KCMA-YHV203 非線型光学測定用真空装置 連続式スプレーフェライトめっき装置 他

2003年度

ワイドギャップ微結晶Si：C作製装置 エネルギー補償型3次元アトムプローブ本体 有機・金属複合蒸着装置 有機薄膜パターン観測装置 STM用前処理室 ストレスパターニング装置　KSEM-045 加熱機構付真空装置 極低温電気物性評価装置 薄膜装置改造 E−gun蒸着装置 加熱・冷却マニピュレーター 小型ビーム搬送装置 角型チャンバー パターン堆積ユニット 加熱機構付マニピュレーター 電子放射分析装置 オージェ電子分光装置 引張り試験器 STM用クライオスタット サンプル搬送機構 吸収溶液流動試験装置（吸収器） HW−pチャンバー 線源導入機構 スピンスプレー装置本体 ドライアイス精製実験装置 ロードロックシステム 液体窒素搬送供給調整機構 導電性ポリマー開発実験装置 FTIR装置 ハイブリットサイクル実証実験試験装置 分光器用真空装置 超高真空対応フラットヒーター機構 電界放出測定チャンバー　KDH-400 潜熱潜熱熱交換器（030616） 放出ガス採用岩石破壊セル 他

2002年度	金属ミラー 超高真空用鉄芯電磁石 LN2タンク 超高真空用液体窒素シュラウド 熱伝導クリップ 極低温用落槌感度試験機 ハロゲン測定装置 ミラー駆動機構 MBE装置 蒸着装置 試料加熱・冷却機構 ガス集合装置 白金電極 光検出ファイバーユニット ナノチューブ作製ユニット コンタクトプローブ サファイヤホルダー タンタル蒸着源 導電性ポリマー開発実験装置 吸脱着速度測定装置 潜熱熱交換器

2001年度	FTIR用IRAS測定真空容器 RHEED試料台冷却用シュラウド KBR窓差動排気フランジ フォトマルケース 反射赤外分光装置 微少重力試験装置 CCD冷却ユニット 試料劈閉用電極 水素アトマイザー 腐食試験用試料加熱ホルダー 希釈冷凍機用トランスファーチューブ 膜厚測定装置 電界イオン顕微鏡用試料駆動機構 ワイヤー巻取り機構 加熱試料台 希釈冷凍機ヘリウム配管操作盤 高周波エッチング装置 グリッド架台 BECトラップチャンバー 極低温測定容器 停電対策用バルブシステム

2000年度	ESRその場測定用エッチングチャンバー 量子機能光電子材料作製装置 Tipクリーニング機構 電子銃 材料表面物性解析装置 超音波モーター 表面電子分光装置 超高真空クライオスタット プラズマCVD装置 3次元形状創成装置 EBプロセス装置 スパッタリング装置 超高真空表面局所解析装置 内部転換電子メスバウアー分光用比例計数管 鉱物粉砕容器 Rb構造解析装置 近接場上光検出装置 冷却原子ビーム生成装置 光ファイバー導入機構 スピンスプレー・フェライトメッキ装置 シャッター付e-gun蒸着源