
真空加熱脱ガス処理

良質な真空実験環境を実現するためには、真空容器の内壁面及び素材内部から放出されるガス(分子)が大きな障害となります。このような悪影響を及ぼす放出ガスについては、真空容器本体や使用する部品等を製造段階において、予め真空中での高温ベーキング処理を施すことによって解決することができます。弊社ではロータリーポンプとターボ分子ポンプを用いて、MAX450℃・48時間の真空加熱脱ガス処理が可能です。

- 開梱・現物確認(図面との照合)
- バッチ数確認
- 処理
- 冷却
- 取り出し・梱包
- 出荷

ワーキング寸法 |
700×700×700(mm) |
到達圧力 |
≦1.0E-5(Pa) |
加熱温度 |
200〜450℃ |
処理時間 |
〜48h |
冷却方式 |
自然冷却 又は 窒素ガス導入冷却 |
排気系 |
ロータリーポンプ及びターボ分子ポンプ |
提出資料 |
処理前画像及び温度勾配データ |
備考 |
※1 製品図面のご送付をお願い致します。
※2 精密洗浄処理をお願い致します。 |
標準価格 |
¥300,000-/1バッチ |
納期 |
製品お預かり後 1〜2週間 |
※1 製品・処理の使用により金額が変わります。お問い合わせください
※2 本書に記載の製品、仕様は改良などのため予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。

|