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北野精機株式会社
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真空加熱脱ガス処理

真空加熱脱ガス処理

概要

良質な真空実験環境を実現するためには、真空容器の内壁面及び素材内部から放出されるガス(分子)が大きな障害となります。このような悪影響を及ぼす放出ガスについては、真空容器本体や使用する部品等を製造段階において、予め真空中での高温ベーキング処理を施すことによって解決することができます。弊社ではロータリーポンプとターボ分子ポンプを用いて、MAX450℃・48時間の真空加熱脱ガス処理が可能です。

作業内容
  1. 開梱・現物確認(図面との照合)
  2. バッチ数確認
  3. 処理
  4. 冷却
  5. 取り出し・梱包
  6. 出荷
ベーキング炉外観
ベーキング炉外観
ベーキング炉内部
ベーキング炉内部
データシートサンプル
データシートサンプル
仕様 Specification
ワーキング寸法 700×700×700(mm)
到達圧力 ≦1.0E-5(Pa)
加熱温度 200〜450℃
処理時間 〜48h
冷却方式 自然冷却 又は 窒素ガス導入冷却
排気系 ロータリーポンプ及びターボ分子ポンプ
提出資料 処理前画像及び温度勾配データ
備考 ※1 製品図面のご送付をお願い致します。
※2 精密洗浄処理をお願い致します。
標準価格 ¥300,000-/1バッチ
納期 製品お預かり後 1〜2週間
※1 製品・処理の使用により金額が変わります。お問い合わせください
※2 本書に記載の製品、仕様は改良などのため予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。
ベーキング炉 残留ガス分析
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