装置を構成する中で、利用者（オペレータ）ともっとも多くの時間、接する部分が制御システムです。
制御システムの使い勝手等が、装置評価に対する重要なファクターになる場合もあります。
利用者（エンドユーザー）が望む制御システムとは・・・
- 操作性
- 可用性（24H x 365日連続運転）
- 拡張性
- 安価・短納期で構築可能
- カスタマイズ性
等があります。これらの要望に対応するために、当社では（1）PLC制御、（2）パソコン制御、（3）マイコン制御＋パソコン制御から適材適所で御提案とシステムの構築をしています。
現在では多くの場合がUI (ユーザインターフェース)としてタッチパネルとセットで構築します。事前に決まったシーケンスを行う場合に最適です。現場での パラメータ変更も容易に可能です。
最近のPLCは非常に高機能化しており、以前は不得意と言われていたループ制御（PID）、シリアル通信、数値演算等を使用したシステムにも対応できる様になってきました。
成膜システムの自動蒸着、自動成膜、自動エッチング、真空装置の自動運転、真空チャンバーの自動排気、自動ベント及び自動搬送等
パソコンに拡張ボードを追加して、装置を制御します。主に以下の制御を行う場合に適しています。
- シリアル通信が必要な場合
- レシピ運転が必要な場合
- データの作成、変更、閲覧及び帳票出力等が必要な場合
- 長時間のデータロギングが必要な場合
パソコン制御はO.S（Windows Xp / Vista）のアプリケーションとして構築しますので、上記は最も得意とします。
成膜システムの自動蒸着、自動成膜、自動エッチング
ユーザインターフェース及びデータ（レシピ、ロギング、パラメータ）管理をパソコンで行い、装置の制御はマイコン（CompactPCI / CPU SH-3 / O.S Linux 2.4)で行います。パソコンとマイコンはTCP/IPで接続します。
可用性の高い運用が可能であり、24時間 x 365日 の連続動作が可能です。生産機では当然として、実験機でも制御システムの障害によるプロセス停止は、時間、材料等のロスにつながります。プロセス用のデータはマイコンに一括転送しますので、プロセス中にパソコンに障害が出た場合でも、プロセスは正常に続行します。（その間に予備のパソコンを接続してください）
又、当社の標準ソフトウエアーでは画面のカスタマイズ機能がありますので、バルブの追加等は現場で可能です。
- シリアル通信が必要な場合
- レシピ運転が必要な場合
- データの作成、変更、閲覧及び帳票出力等が必要な場合
- 長時間のデータロギングが必要な場合
- 可用性の高い運用を行いたい場合
真空チャンバーの自動排気、自動ベント及び自動搬送、自動成膜、自動エッチング
SECS通信によるホスト連携
| 項目 |
備考 |
PLC制御 |
パソコン制御 |
マイコン制御
＋パソコン制御 |
| 操作性 |
状況に応じたガイド等 |
○ |
◎ |
◎ |
| 可用性 |
24H x 365日稼働 |
◎ |
△ |
◎ |
| 拡張性 |
スケーラビリティ |
○ |
△ |
◎ |
| 短納期 |
デベロップメントタイム |
◎ |
○ |
○ |
| 費用 |
コストパフォーマンス |
◎ |
○ |
○ |
| カスタマイズ性 |
ユーザビリティ |
△ |
○ |
◎ |
当社では、お客様の様々な要求に応じて、最も適したシステムを提供することが可能であり、ユーザが本当に使い易いソフトウエアーを提案させて頂きたいと思います。詳しくは、こちらへお問合せください。
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