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 取付フランジ側
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 Tiターゲット設置時の放電の様子
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| 見積もり | |
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| 超高真空対応マグネトロンRFスパッタソース | |
本スパッタソースは超高真空対応の汎用型小型マグネトロンスパッタソースです。本体がすべてベーカブルであるため、反応性の高いターゲットでも、不純物の少ない成膜が可能です。
- Oリングを使用しない超高真空タイプ
- スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能
- マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能
- ターゲットの固定はリテイナーで行われ、ターゲットを短時間で交換可能
- ガス導入口が取付フランジと一体となっているので、ガス導入用のフランジは不要
| 取付フランジ | ICF-152 |
|---|---|
| ターゲットサイズ | 1.5inch（円形） |
| ターゲット固定 | リテイナー式 |
| マグネット材質 | SmCo |
| ベーキング温度 | 300℃ |
| RF電源（オプション） | |
