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超高真空対応小型電子ビーム蒸着源UHV Mini Evaporator

超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 KME-70

外観図 Dimensions
超高真空対応小型電子ビーム蒸着源
取付フランジ側
取付フランジ側
装置全体図
CADデータ(準備中)
見積もり
超高真空対応小型電子ビーム蒸着源|KME-70
概要

KME-70は単原子層薄膜作成用に設計された、小型の簡易型蒸着源です。ロッド状材料もしくはルツボに導入した材料を電子ビームで加熱するため、高融点材料の蒸着が可能です。シンプルな設計となっており、研究開発用途に最適な製品です。

特徴
  • シンプルな設計で簡便性を重視
  • フラックスレートモニタリング用電極付
  • 手動式シャッター機構を標準装備
  • ロッド状材料とルツボのどちらも設置可能
  • 材料は移動機構機構により位置調整が可能
仕様 Specification
取付フランジ ICF-70
試料印加電圧 1.5kV〜2kV(標準)
蒸着可能な材料例 Fe, Co, Ni, Nb, Pt
材料移動調整距離 25mm
ベーキング温度 200℃
シャッター駆動 回転(手動)
T-S間距離 150mm(標準)
参考蒸着レート 0.5Å/s
溶融材料用ルツボ(オプション)
試料 フィラメント印加電源(オプション)
イオン電流測定用電流計(オプション)
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