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ITL社製品

モジュラー型蒸着源/超高真空型 MESシリーズ Horizontal Flange-Mounted Sytem

外観図
モジュラー型蒸着源/超高真空型 MESシリーズ
モジュラー型蒸着源/超高真空型 MESシリーズ
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概要

このモジュラー型蒸着源は、水平取り付フランジに蒸着源をマウントすることにより蒸着装置への取り付けやデザインの問題点を解消しました。
コンパクトな設計により254mmのチャンバーに最大3台の蒸着源を取り付けることが可能です。
フランジアッセンブリーには電子蒸発源及び水冷及び、電気配線が含まれます。

Features 特徴
  • 超高真空対応システム
    超高真空対応型(5×10-11Torr保証) フレキホールシール
    高真空対応型(5×10-8Torr保証) Oリングシール
  • ICF203又はICF254フランジマウント
  • アッセンブリーには下記の製品が含まれます
    • 回転導入器
    • 直線導入器
    • 電流導入端子
    • クランプ
    • 結合部品
    • ウォーターフロースイッチ
    • 水冷結合部品
  • 手動 Push/Pullシャッター
  • 高温(300℃)対応手動回転導入器(4ポケットモデル)
    (1ポケットモデルはポートをブランクしてあります)
  • 取り付けフランジ面〜クルーシブル中心までの距離:203mm
  • 水冷ルーフの有無の選択が可能
見積もり
モジュラー型蒸着源/超高真空型 MESシリーズ
※御客様の仕様に合わせた設計製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせください。
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電源コントローラー/PS10 CVS-6 Power Supply

外観図
電源コントローラー/PS10
概要

e-Vap CVSシリーズ電源は、最新式のソリッドステート(半導体回路)を用いた高周波スイッチング技術を用いた電源です。6kW, 10kW, 15kWの3種類のCVSシリーズ電源があります。
これらの電源は市販されている他の電子蒸発源にも使用することが可能です。
オペレーターの安全の為全てのインターロックが付いています。
CVSシリーズ電源は3台までの電子蒸発源をオペレーションできます。
ソースコントローラー及びX-Yスウィープコントローラーは電源には含まれておりませんので別途ご注文ください。
e-Vapソースコントローラーはソリッドステート(半導体回路)を用いた高周波スイッチング技術を用いており、CVS電源と共に使用することでエミッション電流を精密にコントロールすることが出来ます。
高圧電源を使用する際はグランドフック(アース部品)をご使用になることを強く推奨します。

Features 特徴
  • 6kW、10kW、15kWのモデルがあります
  • 高周波スイッチング技術
  • 優れた変動率
  • 低蓄積エネルギー
  • 電力効率は85%以上
  • 低リップル
  • 丈夫なIGBTスイッチ
  • CE遵守
  • 3台までの電子蒸発源を連続もしくは同時にオペレーション可能
見積もり
電源コントローラー/PS10
※御客様の仕様に合わせた設計製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせください。
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ソースコントローラー/SCM220 Source Control Module

外観図
ソースコントローラー/SCM220
概要

e-Vap SCMソースコントロールモジュールはCVS電源と一緒に使用するよう設計されています。ソースコントロールモジュールユニットにはフィラメント変圧器、リモートコントロールマウス、配線部品が含まれています。
70Aの最大出力電流は、ほとんどの一般的な電子ビーム源に十分なパワーを保証します。
SCMソースコントロールモジュールは、ダイレクトマウント方式と、2種類のリモートケーブルマウント方式の計3種類のインストレーションパッケージがあります。
ダイレクトフランジマウントパッケージは、Caburn-MDCのフランジマウント式蒸発源システムすべてに使用できます。このパッケージはICF70の高圧電流導入端子に直接フィラメント変圧器BOXを取り付けます。
取り付けはフランジボルトに共締めします。
リモートケーブルマウントパッケージはアクリル製の保護カバーで導入端子との接続部を覆い、914mmの高圧ケーブルでフィラメント変圧器とつなぎます。
このパッケージは主にモジュラー型の蒸発源に使用され、ICF70の高圧電流導入端子部に十分な取り付けスペースが無いときに使用します。
2種類目のリモートパッケージは導入端子が2箇所の場合に使用します。
このソースコントロールモジュールはコンパクトで、標準的な483mm幅のラックの半分のサイズです。標準的な483mmラックに取り付ける際はハーフラックスペーサーをご提供します。
ソースコントローラーをX-Yスウィープコントローラーと一緒にご注文いただければ2台横に並べて標準の483mmラックに収めることが可能です。

Features 特徴
  • 高周波スイッチング技術
  • 60Hz以上のSCR回路でのエミッション安定性の向上
  • コンパクトなフィラメント変圧器
  • 高電圧ユニットから絶縁されている
  • フィラメント変圧器のグラウンドとシールド性能が従来の設計に比べ安全性の向上がはかられています。
  • 独立オペレーションの為のエミッション電流モニタリング
  • CE遵守
  • フルリモートコントロール
  • タッチスクリーンでの入力
  • PS/2 リモートコントロールマウス/トラックボール
  • ラックマウントブラケットは含まれています
見積もり
ソースコントローラー/SCM220
※御客様の仕様に合わせた設計製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせください。
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XYスイープ・コントローラー/XYPSC208 Programmable Sweep Controller with Mouse

外観図
XYスイープ・コントローラー/XYPSC208
概要

次世代型e-Vapプログラマブルスウィープコントローラーは、最新の電子技術とお客様からのフィードバックにより、高いレベルの実用的な電子ビームスウィープ能力を有しています。
電子ビームのコントロールはとても精密で、お客様のアプリケーションからの多くの要求のある誘電体の材料の蒸着に最適な能力を発揮します。
多彩なスウィープパターンを使用することにより、異なる蒸着プロセスに簡単に対応することが出来ます。
すでに組み込まれている4つのパターンと95のユーザー設定可能なパターンはビーム時間とビームポイントごとに最大208のXYポイントを構成しています。
ユーザーインターフェースはカラーLCD画面と6つのファンクションボタン、アジャストノブで構成されています。
PS/2リモートコントロールマウスはビームを操作しやすく作られています。
コンピューター自動制御真空装置には背面のRS-232インターフェースから信号を入力することが可能です。
オプションのWindows programmeはデスクトップスウィープパターンのデザイン及び無制限にスウィープパターンを入れることが可能です。

Features 特徴
  • ほとんどの電子ビーム源に使用可能です。
  • 大きなLCDカラーディスプレイ
  • 99のスウィープパターンを記憶させることが可能(95はお客様でプログラム可能)
  • PS/2マウスコントローラーが含まれています。
  • フォルト時には警報音でお知らせします。
  • それぞれのスウィープパターンに名前を付けることが可能です。
  • ビーム中心位置や蒸着材料の仕様によってスウィープパターンを登録できるので、それぞれの仕様に合わせたクルーシブルのポケット番号を選ぶことが出来ます。
  • 蒸着装置の識別のため、スウィープコントローラー自体の名前を登録できます。
  • ビームパワーを広げられる事により蒸発の難しい材料のエロージョンコントロールが可能です。
  • ディスプレイの色を変えることが可能です。
  • パスワード入力が可能です。
  • RS-232インターフェース
  • セーフティーインターロック付
  • 全ての配線ケーブルは含まれています。
  • CE遵守
  • ラックマウントブラケットは含まれています。
見積もり
XYスイープ・コントローラー/XYPSC208
※御客様の仕様に合わせた設計製作を承っておりますので、弊社までお問い合わせください。
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