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四探針プローブユニット

四探針プローブユニット　KPU

概要
  • 本ユニットは、I-V、PL、EL測定、半導体測定など各種測定用のプローブユニットです。
  • トップフランジはICF-152サイズで、コンパクトかつ超高真空対応です。
  • 標準規格のフランジを選定することで増設、改造、形状変更が容易となる。
四探針プローブユニット
特徴
  • XYZ移動機構を大気側に備えることで操作が容易となる。
  • 導入端子にトライアキシャルコネクタ及び、ケーブルを使用する事で微小電流を測定する事が可能です。
  • プローブユニットは、最大4ヶまで設置可能です。
  • 上部フランジにビューイングポートが設置してあり、CCDカメラでの観測やレーザー、光などをデバイスへ照射する事が可能です。
  • 冷却ステージや加熱ステージなどを増設する事で、様々な条件でのテストが可能です。
  • ガス導入や湿度導入が可能でデバイスの環境負荷特性、が測定可能です。
寸法図
寸法図
仕様 Specification
プローブ本数 4本
取付けフランジ 通常/ICF、オプション/ISO・JIS
試料ステージサイズ Φ60
プローブ移動量 前後移動量：±6.5mm、チルト角度：6度
移動分解能 0.01mm
フィードスルー TRIAX、BNC、SMA
プローブ材質 タングステン
ビューポート 通常/コバール、オプション/サファイア、石英
重量 12kg
※1　各仕様は変更が可能です。お問い合わせください。
※2　使用機器等により仕様が異なる場合がございます。ご注意ください。
※3　本書に記載の製品、仕様は改良などのため予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。
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