HOME ＞ 製品案内｜新製品 ＞ 超高真空対応小型4象限スリット 製品に関するお問合せ・資料請求はこちらから

新製品

一覧へもどる
超高真空対応小型4象限スリット

超高真空対応小型4象限スリット　K4SS

概要
  • 小型、軽量なコンパクト設計により、設置の際の自由度が高まる。
  • 弊社の導入機と組み合わせることで真空中にて容易に搬送する事ができる。
  • ピエゾ素子を用いたステッピング駆動により、微細な駆動が可能となる。
超高真空対応小型4象限スリット
特徴
  • スリットはオーバーラップタイプ
  • 上下、左右方向のスリットの刃が独立して駆動可能
  • 超高真空対応対応可能
  • ピエゾ駆動により全自動運転ができ、コンピューターへの接続も容易
  • エンコーダーにて位置決めを行うことで、高精度、高分解能が可能
  • スリット部材料はステンレス以外にも製作可能
寸法図
寸法図
スリット駆動イメージ図
スリット駆動イメージ図
イメージ図
イメージ図
仕様 Specification
中心開口  Center maximum 9mm×9mm
ブレード片側移動距離  Blade movement distance 5.5mm
位置決め分解能  Position resolution 0.1µm
スリット厚さ  Slit thickness 0.5mm
総重量  Weight 120g以下
※1　各仕様は変更が可能です。お問い合わせください。
※2　使用機器等により仕様が異なる場合がございます。ご注意ください。
※3　本書に記載の製品、仕様は改良などのため予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。
一覧へもどる
PAGE TOP