コンパクトガス導入システムCompact Gas Introduction System

コンパクトガス導入システム

背面側	N2ガス中の水分量とガス放出速度の関係 *

KGISはガスボンベの純度を維持したままチャンバーにガスを導入するためのシステムです。システム内部が均一な温度になるよう、ヒーターが設置されています。配管内の水分吸着を最小限に抑えることで、ドライなガスをチャンバー内に導入できます。ベントガスやプロセスガスの導入に最適な製品です。